渦輪分子泵 HiPace

伯東銷售維修 Pfeiffer 普發渦輪分子泵 HiPace 系列憑藉緊湊結構和卓越性能, 適用于高真空和超高真空應用. HiPace 渦輪分子泵採用混合或磁懸浮軸承系統, 確保低噪音和低振動運行. 此外, 普發渦輪分子泵 HiPace 還提供特殊型號, 包括針對氫氣等輕質氣體壓縮的版本, 以及配備耐腐蝕塗層的型號. 這些豐富的專用版本選擇, 使 Pfeiffer 普發渦輪分子泵 HiPace 為塗層, 半導體製造和分析應用提供更優的解決方案.

優勢簡述:
啟動時間短
結構緊湊且重量輕巧
低噪音,低振動
維護量少
提供耐腐蝕特殊塗層型號

主要型号

低振動, 低噪音, 抽速: 67 l/s

渦輪分子泵 HiPace 2800 IT

技术参数

HiPace 普發渦輪分子泵採用創新轉子設計，實現高抽速和高氣體吞吐率。這些真空泵可提供混合軸承或磁懸浮軸承版本。

混合軸承型號在前級真空端使用陶瓷滾珠軸承，高真空端配備永磁軸承，確保設備堅固可靠。在磁懸浮版本中，主動磁懸浮軸承通過電磁體和距離感測器的協同作用，使轉子懸浮並保持非接觸式旋轉，從而將磨損降至最低。

兩種軸承類型均以經久耐用和低維護需求為設計理念，確保真空泵的可靠性能。對於混合軸承型號，陶瓷滾珠軸承和工作液儲液罐可在現場於 30 分鐘內完成更換，有效減少停機時間，提升生產效率。

Pfeiffer 普發渦輪分子泵 HiPace 系列提供多種型號，滿足不同應用需求，包括市場上最小的渦輪分子泵：HiPace 10 Neo。該型號採用機械軸承系統，配備油潤滑陶瓷滾珠軸承，即使在快速移動或振動環境中也能保持穩定運行。其小巧的占地面積使其特別適合高度集成的分析儀器，例如質譜分析、電子顯微鏡或可擕式系統等應用。

HiPace 提供多款特殊型號，能夠適應各類工藝要求。例如，其中部分型號配備了創新的 Holweck 級聯裝置，對氫氣等極輕氣體具有出色的壓縮性能，這一特性在需要超高真空的工藝流程和科研應用中至關重要。另有型號配備經 Kepla 塗層處理的轉子——該等離子體化學表面處理技術能夠提升耐腐蝕性，使其特別適用于塗層和半導體製造等嚴苛環境。

類型	系類	型號	氮氣抽速 l/s	最大極限真空 hPa	氮氣壓縮比	轉速 rpm ± 2 %
渦輪分子泵	HiPace@	HiPace 60	64	＜ 5X10^-10	1X10⁶	90,000
		HiPace 80	67	＜ 5X10^-10	1X10¹¹	90,000
		HiPace 300	260	＜ 5X10^-10	1X10¹¹	60,000
		HiPace 350	300	＜ 5X10^-10	1X10¹¹	60,000
		HiPace 450	380	＜ 5X10^-10	1X10¹¹	60,000
		HiPace 700	685	＜ 5X10^-10	1X10¹¹	49,200
		HiPace 800	790	＜ 5X10^-10	1X10¹¹	49,200
		HiPace 1200	1,250	＜ 5X10^-10	1X10⁸	49,200
		HiPace 1500	1,400	＜ 5X10^-10	1X10⁸	49,200
		HiPace 1800	1,450	＜ 5X10^-10	1X10⁸	49,200
		HiPace 2300	1,900	＜ 5X10^-10	1X10⁸	49,200
渦輪分子泵鐳射動平衡技術	HiPace@ Neo	HiPace 10 Neo	12	＜ 5X10^-10	1X10⁸	49,200
		HiPace 30 Neo	32	＜ 5X10^-10	1X10⁸	49,200
		HiPace 80 Neo	67	＜ 5X10^-10	1X10⁸	49,200

伯东企业(上海)有限公司

渦輪分子泵 HiPace

渦輪分子泵 HiPace 80 Neo

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