全磁浮分子泵 ATH 500 M 兩種介面：DN 100/160
三種密封方式：ISO-F、ISO-K、CF-F
兩種冷卻方式：風冷、水冷
另有可遠端控制和可加熱款（抗腐蝕MT）供客戶選擇
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全磁浮分子泵 ATH 500 M 抽速: 350 l/s 至550 l/s
簡介
全磁浮分子泵 ATH 500 M 兩種介面：DN 100/160
三種密封方式：ISO-F、ISO-K、CF-F
兩種冷卻方式：風冷、水冷
另有可遠端控制和可加熱款（抗腐蝕MT）供客戶選擇
技术规格
伯東 Pfeiffer 普發全磁浮渦輪分子泵 ATH 500 M，對氮氣的抽速最高可達 550 l/s，緊湊集成的全磁浮渦輪分子泵控制器。全磁浮渦輪分子泵可以安裝在任何方向。CE標誌和通過無鉛認證。全磁浮渦輪分子泵核心科技是五軸控制全磁浮軸承，免維護，無需潤滑，保證全磁浮渦輪分子泵內部清潔無油。全磁浮軸承保證了轉子的穩定性，在高速運轉過程中無摩擦，無磨損，低噪音低振動，可延長分子泵的使用壽命。
Pfeiffer 普發全磁浮渦輪分子泵 ATH 500 M 技術參數：
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軸承 |
五軸控制全磁浮軸承 |
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轉速 |
50000 min-1 |
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對氮氣的壓縮比 |
> 2 · 107 |
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最大進氣壓力N2 |
2.6 hPa |
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對氮氣的抽速 |
350 l/s--550 l/s |
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啟動時間 |
< 2 min |
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極限真空度 |
< 1 · 10-8 hPa |
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重量 |
17 kg-18kg |
