SRG 磁懸浮轉子真空計 DosiTorr Extend

簡介

除了兼具 SRG 磁懸浮轉子真空計的所有優點外, DosiTorr Extend 特點
可拆卸: 測量頭和電子設備分離設計, 耐腐蝕, 抗輻射（紫外線, ……）以及耐高溫
根據客戶需求選型並測量和安裝, 一個磁頭可連接多個感測器
可以安裝在很小的空間
圖形使用者操作介面
適用于 OEM 集成 & 評估
全金屬, 高精度, 數字真空計
長期穩定: < 每年 1 % 的漂移
測量範圍: 10 mbar 至 5 x 10-7 mbar
替代離子規: 熱陰極或冷陰極
典型應用:離子注入, 幹法刻蝕, 真空絕緣, 顯示面板, 科研, 計量級真空計校準系統

洽詢了解

技术规格

伯東德國 ph-instruments SRG 磁懸浮轉子真空計 DosiTorr Extend, 測量頭和電子設備分離設計, 耐腐蝕, 抗輻射（紫外線, ……）以及耐高溫, 無需打開密封的真空腔體, 更便捷的真空系統監測方案, 適用于 OEM 集成.

SRG 磁懸浮轉子真空計基本規格

測量原理	SRG 旋轉轉子技術
測量範圍	7 Torr 至 4 x 10^-7 Torr (10 mbar 至 5 x 10^-7 mbar)
精度	7 Torr 至 0.07 Torr & 10 mbar 至 0.1 mbar 約讀數的 10 %; 0.07 Torr 至 7 x 10^-7 Torr & 0.01 mbar 至 1 x 10^-6 mbar 讀數的 1 %
長期穩定性	< 每年 1 % 的漂移
接液材料管/球	不銹鋼
安裝方式	水準
類比介面	USB Type C, 藍牙, 15pin
數位介面	USB, 藍牙, RS 232, RS 485
反應時間（快速模式）	1 秒

伯東 SRG 磁懸浮轉子真空計是一種基於旋轉轉子壓力錶技術的新型過程壓力計. 與其他真空測量（熱陰極或冷陰極, 電容式壓力感測器）相比, SRG 磁懸浮轉子真空計精度高, 耐腐蝕, 長期穩定, 不影響以任何方式測量的壓力信號（無溫度輸入 / 電離 / 採集 / 漂移等）. 簡單的幾何形狀和不銹鋼旋轉球, 通過電磁力平滑移動, 適用于各種高純度氣體工藝.

SRG 磁懸浮轉子真空計適用於工藝中的連續, 自動, 高真空測量, 並提供多種靈活的解決方案.
DosiTorr: 感測器, 測量頭和電子設備集成在一個緊湊的單元中
CaliTorr: 電子測量頭可以與真空規分離用於烘烤
DosiTorr 擴展: 測量頭和電子設備分離, 便於在空間受限的設備中安裝
DosiTorr 配置: 設計用於 1:1 離子規更換配置電介面(隨插即用解決方案)
SRG 磁悬浮转子真空计

SRG 磁懸浮轉子真空計應用
替代離子規: 傳統電離式的真空規無法使用的情況
離子注入, 幹法刻蝕
線上真空監測
液氮, 液氦高純氣體存儲

若您需要進一步的瞭解 SRG 磁懸浮轉子真空計詳細資訊或討論, 請參考以下聯絡方式：
上海伯東: 葉小姐臺灣伯東: 王小姐
M: +86 1391-883-7267 ( 微信同號 ) M: +886-939-653-958

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