HVA 高真空閘閥, 插板閥

HVA 不銹鋼真空閘閥, 真空插板閥
型號: 11000 系列
口徑: DN 16 - 800 mm
壓力範圍: 高真空 1x10-9 mbar; 超高真空 1x10-10 mbar
最高烘烤溫度: 250 °c

通用型號, 適用於低溫泵, 渦輪分子泵, 離子泵以及其他需要清潔, 低放氣率閥門的應用.

HVA 不銹鋼真空閘閥,真空插板閥
型號: 21200 系列
口徑: DN 16 - 320 mm
壓力範圍: 1x10-9 mbar
最高烘烤溫度: 150 °c

百萬週期使用壽命, 在真空環境中, 閥門內部沒有機械鎖, 適用於半導體和需要無振動運行的敏感工藝

HVA 不銹鋼真空隔離閘閥
型號: 16000 系列
口徑: DN 40 - 320 mm
壓力範圍: 1x10-9 mbar
最高烘烤溫度: 150 °c

配備有隨閘板移動的防護罩, 適用于污染性強, 不允許出現頻繁的停機, 極其嚴苛的工藝環境

HVA 三位不銹鋼真空閘閥, 真空插板閥
型號:  21700 系列
口徑: DN 100 - 300 mm
壓力範圍: 1x10-9 mbar
最高烘烤溫度: 150 °c

採用兩個氣動電磁閥和一個氣壓調節器控制閥門的3種開啟方式: 完全打開,完全關閉以及一個可調節的中間位置.

適用於刻蝕, CVD, 真空鍍膜和其他需要壓力控制工藝的行業

HVA 不銹鋼真空層流閘閥
型號: 13000系列
口徑: DN40-DN300 mm
壓力範圍: 1x10-9 mbar

具有層流流口孔徑, 能有效將閥體與氣流隔開

廣泛應用於半導體領域, 比如刻蝕, 化學氣相沉積以及任何使用高腐蝕性氣體的工藝中

HVA 不銹鋼高真空閘閥 
 型號: 71000 系列
口徑: DN 50 - 200 mm
壓力範圍:
1x10-9 mbar

不繡鋼波紋管與工藝過程分離 - 免維護

滿足 MOCVD, ALD, PECVD 強腐蝕性化學物質和高溫環境的工藝需求

HVA 鋁制高真空閘閥
型號: 81000 系列
口徑: DN 100-320 mm壓力範圍: 1x10-7 mbar

比同等口徑的不銹鋼閥門氫氣脫氣率低

滿足半導體, 太陽能, LED/平板顯示器, 塗層以及生物製藥等行業的系統集成設計要求