HVA 三位元真空閘閥 21700 系列

HVA 三位真空閘閥, 完全打開,完全關閉, 以及一個可調節的中間位置
機械預設, 遙控過渡閥位
三個位置都有指示器
標準或者定制法蘭
至少一百萬使用週期
任意位置安裝

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HVA 三位元真空閘閥 21700 系列口徑: DN 100-320 mm

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技术规格

伯東美國 HVA 三位真空閘閥21700 系列適用於刻蝕, CVD, 真空鍍膜和其他需要壓力控制工藝的行業. HVA 三位真空閘閥與上游品質流量控制器一起使用時, 提供異常壓力控制功能, 也適用於從粗真空到高真空的平穩過渡.

HVA 三位元真空閘閥 21700 系列採用兩個氣動電磁閥和一個氣壓調節器控制閥門的3種開啟方式: 完全打開,完全關閉以及一個可調節的中間位置.

美國 HVA 三位元真空閘閥 21700 系列技術參數：

閥門材質：
閥門主體	304 不銹鋼
焊接波紋管軸封	AM-350
驅動軸和驅動銷	硬質不繡鋼
閥門密封方式：
高真空	氟橡膠
漏率	<2×10^-9 mbar l/s
差壓關閉	1 bar
真空：
壓力範圍	高真空1x10^-9 mbar
漏率	< 2x10^-9 mbar l/S
差壓關閉	1 bar (任意位置)
開啟前最大壓力	≤ 30 mbar
烘烤溫度（不含電磁閥）：
閥門主體	150 °c
驅動方式	氣動 60 °c
使用壽命：100,000啟閉次數
公稱通徑：DN100-320 mm

伯東美國 HVA 高真空和超高真空閥門中國總代理! HVA 是美國最大真空閥門製造商, 在美國有超過四十年的歷史, 擁有 6萬平方英尺的全自動無人加工工廠, HVA 提供高品質, 準確, 客制化的插板閥, 矩形閥. 無論是生產線升級, 還是新設備製造, HVA 都能提供經濟有效的真空閥門解決方案, 其中超高真空閘閥現已廣泛應用於半導體氣體管路和各類真空設備中！與友廠閥門對比, HVA 真空閘閥常規保養只需更換密封圈, 維護更加方便迅速！

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