基於 SRG 旋轉轉子量規技術的, 長期穩定的, 計量級真空計校準系統.
技术参数
伯東代理德國 ph-instruments ION Check 真空規校準系統, 基於 SRG 旋轉轉子量規技術的長期穩定真空校準系統.
ph-instruments ION Check 真空規校準系統適用於校準和比較高真空計. 結構緊湊, 設計包含無油高真空系統 Hicube 80, 氣體計量單元, 讀取和校準具有模擬輸出的真空表的硬體和軟體.
ION Check 真空規校準系統技術規格
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測量原理 |
旋轉轉子壓力錶 |
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可調壓力範圍 |
5X10-7 mbar 至 1X10-2 mbar (最大 1 mbar) |
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精度 |
0.1 mbar 至 1 x 10-6 mbar 讀數的 1% |
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測量時間 SRG |
3, 5, 10, 20, 30 秒 |
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單次迴圈時間 |
< 1 秒 |
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長期穩定性 |
< 每年 1% 漂移 |
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DUT 數量 |
2個 |
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介面 |
KF 25 |
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高真空泵組 |
Hicube 80 Eco DN 63 CF-F |
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旁通泵 |
隔膜泵 |
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數位介面 |
USB-C, 藍牙(可選), RS 232, RS 485, 網路介面 |
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軟體 |
Win10, ION Check APP |
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相容插頭（包括電纜） |
MKS/GP 354, MKS /GP 355, MKS 971B |
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通用插頭 |
CC/HC/皮拉尼, 帶 24 VDC 電源和 0-10 VDC 類比輸出（可根據要求提供電纜） |
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校準氣體（可選） |
N2 （可根據要求提供） |
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