SRG 旋轉轉子技術
全金屬, 高精度, 數字真空計
長期穩定: < 每年 1 % 的漂移
超清潔, 堅固, 耐腐蝕和沉積
測量範圍: 10 mbar 至 5 x 10-7 mbar
自主物理測量方式, 不需要電離等過程
對溫度不敏感
高精度測量 1 %
替代離子規: 熱陰極或冷陰極
提供多種配置可選
或直接联络客服: 139-1883-7267
SRG 磁懸浮轉子真空計 Dositorr 高精度耐腐蝕, 替代離子規
簡介
SRG 旋轉轉子技術
全金屬, 高精度, 數字真空計
長期穩定: < 每年 1 % 的漂移
超清潔, 堅固, 耐腐蝕和沉積
測量範圍: 10 mbar 至 5 x 10-7 mbar
自主物理測量方式, 不需要電離等過程
對溫度不敏感
高精度測量 1 %
替代離子規: 熱陰極或冷陰極
提供多種配置可選
技术规格
伯東代理德國 ph-instruments Dositorr SRG 高真空感測器是一種基於旋轉轉子壓力錶技術的新型過程壓力計. 與其他真空測量（熱陰極或冷陰極, 電容式壓力感測器）相比, Dositorr SRG 旋轉轉子壓力錶精度高, 耐腐蝕, 長期穩定, 不影響以任何方式測量的壓力信號（無溫度輸入 / 電離 / 採集 / 漂移等）. 簡單的幾何形狀和不銹鋼旋轉球, 通過電磁力平滑移動, 適用于各種高純度氣體工藝.
Dositorr SRG 磁懸浮轉子真空計技術規格
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測量原理 |
旋轉轉子技術 |
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測量範圍 |
7 Torr 至 4 x 10-7 Torr (10 mbar 至 5 x 10-7 mbar) |
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精度 |
7 Torr 至 0.07 Torr & 10 mbar 至 0.1 mbar 約讀數的 10 %; |
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長期穩定性 |
每年漂移 < 1.5% |
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接液材料管/球 |
不銹鋼 |
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安裝方式 |
水準 |
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類比介面 |
USB Type C, 藍牙, 15pin |
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數位介面 |
USB, 藍牙, RS 232, RS 485 |
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反應時間（快速模式） |
1 秒 |
伯東德國 ph-instruments Dositorr SRG 磁懸浮轉子真空計適用於工藝中的連續, 自動, 高真空測量, 並提供多種靈活的解決方案.
DosiTorr: 感測器, 測量頭和電子設備集成在一個緊湊的單元中
CaliTorr: 電子測量頭可以與真空規分離用於烘烤
DosiTorr 擴展: 測量頭和電子設備分離, 便於在空間受限的設備中安裝
DosiTorr 配置: 設計用於 1:1 離子規更換配置電介面(隨插即用解決方案)
Dositorr SRG 磁懸浮轉子真空計應用
替代離子規: 傳統電離式的真空規無法使用的情況
離子注入, 幹法刻蝕
線上真空監測
液氮, 液氦高純氣體存儲
若您需要進一步的瞭解 SRG 磁懸浮轉子真空計 詳細資訊或討論, 請參考以下聯絡方式：
上海伯東: 葉小姐 臺灣伯東: 王小姐
M: +86 1391-883-7267 ( 微信同號 ) M: +886-939-653-958
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应用案例
上海伯东针对不同客户, 提供定制化解决方案并能与客户携手合作研发新的项目应用
ph-instruments SRG 磁悬浮转子真空计可替代 MKS, INFICON 离子规
可以替代离子规 MKS 903 AP,MKS GP 390,MKS GP 355,MKS GP 354, Inficon HPG400,Inficon MPG400 等型号
SRG 旋轉轉子真空計測量原理
SRG 旋轉轉子真空計測量原理,穩定測量優勢,固有的抗污染性和堅固設計,高精度和長期穩定性
ph-instruments Dositorr SRG 磁悬浮转子真空计离子注入应用
SRG 磁悬浮转子真空计, 耐腐蚀, 无污染, 对沉积不敏感. 可替代离子注入工艺中的离子规, 解决常规离子规经常失效, 信号漂移等问题.
SRG 旋转转子真空规与离子规对比
SRG 旋转转子真空计精度高, 长期稳定, 不影响以任何方式测量的压力信号（无温度输入 / 电离 / 采集 / 漂移等）, 适用于半导体, 低温真空绝热, 高精度真空计校准系统.
SRG 磁悬浮转子规原理和特点(耐腐蚀,高精度,长期稳定)
SRG 旋转转子是一种高精度且稳定的真空测量技术, 核心感测组件是一个小型磁悬浮的钢球, 透过管件连接到真空系统内
SRG 磁悬浮转子真空计应用于显示面板腔体测量
磁悬浮转子真空计具有长期的坚固性, 高度准确和稳定的压力读数, 耐腐蚀和沉积, 即使在腐蚀工艺中, 其他仪表可能会漂移和失效, SRG 磁悬浮转子真空计无影响.
SRG 磁悬浮转子真空计应用优势
耐腐蚀和沉积, 无灯丝设计, 替代传统的离子规(冷阴极离子规或热阴极离子规)
SRG 磁悬浮转子真空计替代离子规适用于腐蚀和沉积环境
SRG 高精度磁悬浮转子真空计, 耐腐蚀, 无灯丝设计, 没有内在的污染源, 不会造成二次电离污染沉积. 完全替代离子规, 提供可靠的, 长期稳定的压力测试, 更适合高污染的严苛工艺环境.
SRG 磁悬浮旋转转子真空计在眼科涂层 Opthalmic Coating 中的应用优势
SRG 磁悬浮旋转转子真空计在镀膜行业（如光学镀膜, 硬质镀膜）中, 其稳定的真空测量可确保膜层厚度均匀性, 减少批次间差异, 提升镀膜产品光学性能与耐用性.
SRG 磁悬浮旋转转子真空计在光伏行业 Solar Collectors 中的应用优势
SRG 磁悬浮旋转转子真空计可以在玻璃管内工作, 因此可以将带有球的玻璃管焊接到玻璃真空室, 在制造过程中测量真空度.可用于光伏行业的维护, 制造和测试, 且方便拆卸
上海伯东 SRG 磁悬浮转子真空计适用于半导体工艺中的精确真空监测
在半导体离子注入工艺中, SRG 磁悬浮转子真空计零失误, 零偏差, 精准测量
