品質範圍: 高達 300amu(適用於廣泛的工藝氣體和副產品)
高速讀取: 高達 1000 讀數/秒每 amu 快速過程監控和準確的端點檢測
先進的品質篩檢程式: 採用先進的四極杆質譜, 優越的品質分離和信號穩定性
雙探測器系統: 具有雙法拉第/二次電子倍增器(SEM), 具有寬動態範圍和低檢測極限
集成過程邏輯控制器: 允許在室內安裝和直接控制本地過程環境
行業標準通信: 支援高速, 確定性協定, 如 EtherCAT, Modbus 無縫工具集成
智慧軟體: 直觀的 GUI(圖形化使用者介面)控制, 資料獲取和自動分析
經濟適用, 接受客戶定制, 靈活多變的應用解決方案
自研線上質譜分析儀 Genius 質量數: 1 - 100 / 200 / 300 amu
簡介
品質範圍: 高達 300amu(適用於廣泛的工藝氣體和副產品)
高速讀取: 高達 1000 讀數/秒每 amu 快速過程監控和準確的端點檢測
先進的品質篩檢程式: 採用先進的四極杆質譜, 優越的品質分離和信號穩定性
雙探測器系統: 具有雙法拉第/二次電子倍增器(SEM), 具有寬動態範圍和低檢測極限
集成過程邏輯控制器: 允許在室內安裝和直接控制本地過程環境
行業標準通信: 支援高速, 確定性協定, 如 EtherCAT, Modbus 無縫工具集成
智慧軟體: 直觀的 GUI(圖形化使用者介面)控制, 資料獲取和自動分析
經濟適用, 接受客戶定制, 靈活多變的應用解決方案
技术规格
伯東 Hakuto 自研線上質譜分析儀是一種現代, 緊湊, 高性能的氣體分析儀, 接受客戶定制, 提供更靈活的氣體分析解決方案. 伯東自研線上質譜分析儀專為苛刻的工業和研究應用而設計, 提供高定量準確性和即時氣體分析性能
Hakuto 自研線上質譜分析儀特性
高分析精度與生產就緒的可靠性相結合
智慧軟體: 整合式軟體的直觀控制, 資料獲取和量化, 支援先進的資料分析
廣泛的應用範圍: 理想的氣體純度分析, 真空監測, 洩漏檢測和即時程序控制領域, 如氣體雜質分析, 光催化, 熱催化, 半導體製造先進材料加工.
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型號 |
Hakuto Genius 線上質譜分析儀 |
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分析技術 |
四極杆質譜 QMS |
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質量數 |
1 - 100 / 200 / 300 amu |
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分析器類型 |
四極品質篩檢程式 |
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離子發生器 |
電子撞擊電離器 |
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探測器 |
法拉第 /二次電子倍增器(SEM) |
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真空系統 |
內部集成緊湊設計的渦輪分子泵 |
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取樣壓力範圍 |
1E-5 torr 至 30 psi |
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通信協議 |
EtherCAT, Modbus, RS232 / RS432 |
Hakuto 自研線上質譜分析儀應用場景
光催化 / 熱催化
石油裂解 / 煤氣分析
燃燒室管理: 燃燒室指紋識別和匹配
ALD, ALE, 幹泵管理, EUV 鏡像管理
洩漏檢測
氣體輸送監測(純度和雜質)
新能源電池
伯東提供可定制版本的質譜分析儀, 例如: 壓力控制進氣, 特殊進氣系統, 特殊外殼設計等, 滿足不同應用.
若您需要進一步的瞭解自研質譜詳細資訊或討論, 請參考以下聯絡方式:
上海伯東: 葉小姐 臺灣伯東: 王小姐
M: +86 1391-883-7267 ( 微信同號 ) T: +886-3-567-9508 ext 161
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应用案例
上海伯东针对不同客户, 提供定制化解决方案并能与客户携手合作研发新的项目应用
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