HiCube 80 Eco 分子泵組“隨插即用”, 緊湊設計, 適合中小型腔體的高真空應用
風冷設計, 易維護
前級泵配備隔膜泵保證清潔無油, 分子泵多種介面可選
可搭配 Pfeiffer 真空計
UL / CSA 認證
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渦輪分子泵組 HiCube 80 Eco 抽速: 67 l/s
簡介
HiCube 80 Eco 分子泵組“隨插即用”, 緊湊設計, 適合中小型腔體的高真空應用
風冷設計, 易維護
前級泵配備隔膜泵保證清潔無油, 分子泵多種介面可選
可搭配 Pfeiffer 真空計
UL / CSA 認證
支援資料存儲
技术规格
伯東銷售維修 Pfeiffer 普發分子泵組 HiCube 80 Eco, 分子泵 HiPace 80 搭配無油隔膜泵 MVP 015, 分子泵組體積小巧,”隨插即用”, HiCube 80 Eco 適合中小型腔體的高真空應用.
Pfeiffer 分子泵組 HiCube 80 Eco 特點
1. “隨插即用”, 緊湊設計, 適合中小型腔體的高真空應用
2. 風冷設計, 易維護
3. 前級泵配備隔膜泵保證清潔無油, 分子泵多種介面可選
4. 可搭配 Pfeiffer 真空計
5. UL / CSA 認證
6. 支援資料存儲
Pfeiffer 普發分子泵組 HiCube 80 Eco 技術規格
|
泵組型號 |
進氣法蘭 |
分子泵 |
抽速 |
極限真空 |
前級泵型號 |
前級泵 |
|
HiCube 80 Eco |
DN 40 ISO-KF |
HiPace 80 |
35 |
1X10-7 |
MVP 015-2 |
0.5 |
|
MVP 015-4 |
0.75 |
|||||
|
MVP 030-3 |
1.8 |
|||||
|
DN 63 CF-F |
HiPace 80 |
67 |
1X10-8 |
MVP 015-2 |
1 |
|
|
MVP 015-4 |
0.75 |
|||||
|
MVP 030-3 |
1.8 |
|||||
|
DN 63 ISO-K |
HiPace 80 |
67 |
1X10-7 |
MVP 015-2 |
1 |
|
|
MVP 015-4 |
0.75 |
|||||
|
MVP 030-3 |
1.8 |
Pfeiffer 普發分子泵組 HiCube 80 Eco 應用場景
1. 實驗室研發
2. 加速器
3. 分析和表面物理學
4. 真空工藝技術, 真空排氣台
5. 一般真空應用
伯東銷售維修 Pfeiffer 普發渦輪分子泵 HiPace 系列憑藉緊湊結構和卓越性能, 適用于高真空和超高真空應用.HiPace 渦輪分子泵採用混合或磁懸浮軸承系統, 確保低噪音和低振動運行. 此外, 渦輪分子泵 HiPace 還提供特殊型號, 包括針對氫氣等輕質氣體壓縮的版本, 以及配備耐腐蝕塗層的型號. 這些豐富的專用版本選擇, 使 Pfeiffer 普發渦輪分子泵 HiPace 為塗層, 半導體製造和分析應用提供更優的解決方案.
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