伯東代理德國 ph-instruments 高真空磁懸浮轉子真空計, 基於旋轉轉子 SRG 技術開發, 在 0.01 至 1 x 10-6 mbar 精度 1 %. 全金屬設計, 耐腐蝕抗污染, 長期穩定的數字真空計. ph-instruments 高真空磁懸浮轉子真空計原理簡單: 測量管 (內置一個 4.5 mm 滾珠軸承球作為壓力感測器), 根據需要安裝測量頭. 機頭通過電磁力與球相互幹擾, 無觸點測量旋轉球在運行過程中的旋轉頻率變化.
SRG 旋轉轉子真空計不僅僅定位為傳統真空計的替代品, 而是作為確保先進製造制程中計量完整性的基礎技術. 透過提供高度準確和穩定的測量, SRG 旋轉轉子真空計能夠實現更嚴格的制程式控制制, 減少變異性, 提高半導體製造, 鍍膜, 顯示面板, 光伏等高精密應用中的良率和產品品質.
* ph-instruments 可以替代離子規 MKS 903 AP, MKS GP 390, MKS GP 355, Inficon HPG400, Inficon MPG400 等型號.
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ph-instruments 磁懸浮轉子真空計 主要型號
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參數 |
Dositorr SRG 磁懸浮轉子真空計 |
VIM-2 磁懸浮轉子真空計 |
ION Check 真空計校準系統 |
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參考圖片 |
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特點 |
多配置可选,方便 OEM 集成 |
配置顯示器, 內置鋰電池 |
計量級 |
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測量範圍 |
7 Torr 至 4 x 10-7 Torr (10 mbar 至 5 x 10-7 mbar) |
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精度 |
7 Torr 至 0.07 Torr & 10 mbar 至 0.1 mbar 约读数的 10 %； |
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長期穩定性 |
< 每年 1 % 的漂移 |
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模拟接口 |
USB Type, 15pin,定制 |
USB Type C, 15pin |
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数字接口 |
USB,RS232(维护),RS 485 |
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模擬輸出 |
0 - 10 VDC 可配置 |
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電源要求 |
18 至 28 VDC |
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