KRi 離子源電源控制器

伯東美國 KRi 提供的離子源模組化電源控制器, 可以操作各種離子, 等離子體和電子源, 用於在等離子體處理中, 輸出穩定和可重複功率的動態負載. 可以在惡劣的環境中正常運轉, 易於系統集成.

離子源電源控制器由多個模組組成, 模組的特性取決於功率, 頻率, 電壓, 電流和控制方式, 大多數模組都滿足 CE 和 CoHS 標準.

連續性和穩定性: 能夠在緊急情況下比如載入高能量的等離子體, 短路, 電流過沖, 電壓過沖和功率過沖的情況, 實現保護功能. 確保在運行沉積和刻蝕工藝時進行不間斷的操作. 通過數顯的面板, 可以即時觀測和控制工藝參數和狀態資訊.

KRi 模組化電源包括但不限於以下產品:
KRi 直流磁控濺射電源
無柵網霍爾電源
DC 直流電源集成中和器
RFICP 射頻電源