HiPace 800 穩健性工業設計和經過實踐證明的高可靠性分子泵軸承系統
結構緊湊, 滿足更小的安裝空間要求
分子泵高氣流量和高抽速
基本款任意角度安裝
防護等級 IP 54, 符合工業環境要求
可應用於腐蝕性氣體工藝
分子泵通過 SEMI S2 和 UL 認證
或直接联络客服: 139-1883-7267
渦輪分子泵 HiPace 800 抽速: 790 l/s
簡介
HiPace 800 穩健性工業設計和經過實踐證明的高可靠性分子泵軸承系統
結構緊湊, 滿足更小的安裝空間要求
分子泵高氣流量和高抽速
基本款任意角度安裝
防護等級 IP 54, 符合工業環境要求
可應用於腐蝕性氣體工藝
分子泵通過 SEMI S2 和 UL 認證
技术规格
伯東德國普發渦輪分子泵 Pfeiffer HiPace 800, 抽速可達 790 l/s 的渦輪分子泵. 分子泵占地面積小, 高氣通量和高抽吸能力. 集成驅動電路, 適用於工業環境, 通過保護等級 IP54, 半導體 S2, UL / CSA 認證. 通過控制器, 監控運算資料保證分子泵的安全性. 渦輪分子泵 HiPace 800 可選控制器 TC 400 或 TCP 350, 另有分子泵 HiPace 800P 因其能抵抗工業粉塵和微小粒子而廣泛應用於工業領域. 對標 Edwards STP 磁懸浮分子泵.
渦輪分子泵 HiPace 800 技術參數
|
分子泵型號 |
介面 DN |
抽速 l/s |
壓縮比 |
最高啟動壓強mbar |
極限壓力 |
全轉速氣體流量hPa l/s |
啟動時間 |
重量 |
|||
|
進氣口 |
排氣口 |
氮氣 |
氦氣He |
氫氣 H2 |
氮氣 |
氮氣N2 |
hPa |
氮氣N2 |
min |
kg |
|
|
HiPace 800 |
200 |
25 |
790 |
700 |
580 |
> 1X1011 |
11 |
< 1X10–7 |
6.5 |
2 |
12.8 – 19.1 |
渦輪分子泵 HiPace 800 P 系列, 因其能抵抗工業粉塵和微小粒子而廣泛應用於工業領域.
渦輪分子泵應用 HiPace 800 應用
鍍膜: 光伏, CD / DVD / PVD
工業: 燈管製造
研發: 納米技術, 生物技術
分析儀器: 電子顯微鏡, 檢漏, 小型質譜, 表面分析, 殘餘氣體分析
半導體: PVD, CVD, Beamline, Inspection
伯東銷售維修 Pfeiffer 普發渦輪分子泵 HiPace 系列憑藉緊湊結構和卓越性能, 適用于高真空和超高真空應用.HiPace 渦輪分子泵採用混合或磁懸浮軸承系統, 確保低噪音和低振動運行. 此外, 渦輪分子泵 HiPace 還提供特殊型號, 包括針對氫氣等輕質氣體壓縮的版本, 以及配備耐腐蝕塗層的型號. 這些豐富的專用版本選擇, 使 Pfeiffer 普發渦輪分子泵 HiPace 為塗層, 半導體製造和分析應用提供更優的解決方案.
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