定制殘餘氣體分析系統 OmniGrade

伯東德國 Pfeiffer 推出 OmniGrade 定制殘餘氣體分析系統, 用於複雜殘餘氣體測量, 進行純度測試. OmniGrade 在高真空條件下使用質譜法正確測定脫氣率. 避免由於分子污染導致的影響, 達到更高水準的清潔度. OmniGrade 的上市, 擴展了德國 Pfeifffer 殘餘氣體分析的產品組合, 提供更高水準的價值創造, 從而增加客戶的利益.

OmniGrade 殘餘氣體分析應用領域
半導體生產中的 EUV 光刻
電子顯微鏡
超高真空 UHV 中的應用

OmniGrade 殘餘氣體分析系統基於模組化原理, 可滿足各種測試要求
伯東德國 Pfeiffer 根據每個測試要求提供量身定制的分析系統, 滿足客戶所需精度的測試結果. 殘餘分析系統採用全系列的德國 Pfeiffer 產品, 比如四極杆質譜儀, 真空泵, 腔室和其他組件.

四極杆質譜儀 (PrismaPro 或 HiQuad ) 的選擇和腔室數量的確定對可實現的檢測限有顯著影響. 在標準系統中有兩個腔室, 一個放置測試樣品, 另一個放置光譜儀. 如果需要, 該結構可以補充第三個腔室. 即閘室. 這避免了測量腔室受到環境污染並顯著減少了表面積. 通過烘烤系統, 可以對其進行調節, 從而進一步提高測量能力.

OmniGrade 殘餘氣體分析系統組態

OmniGrade 殘餘氣體分析系統特點
使用模組化系統根據您的需求定制執行
檢測限低
全自動測量過程
根據 ASML的清潔度等級 GSA 07 1221 和 GSA 07 2221 進行測試

OmniGrade 採用了節能元件和先進技術設計, 以減少浪費和排放. 它有助於優化檢查純度的流程, 從而減少客戶生產中的浪費並更有效地利用資源.

伯東累計多年真空經驗, 提供各類定制真空系統, 例如氦質譜檢漏系統, 真空計校準系統, 殘餘氣體分析系統等, 滿足半導體, 工業, 科研各個領域的需求.

伯東根據您的實際需求, 提供可定制版本的質譜分析儀, 例如: 壓力控制進氣, 特殊進氣系統, 特殊外殼設計等, 滿足不同應用. 點擊瞭解更多應用案例 >>

伯東 Hakuto 自研質譜現已上市,  經濟適用，接受客戶定制，提供靈活多變的氣體分析應用解決方案: 點擊瞭解詳細資訊 >>

若您需要進一步的瞭解 質譜分析儀詳細資訊或討論, 請參考以下聯絡方式：
上海伯東: 葉小姐                                               臺灣伯東: 王小姐
M: +86 1391-883-7267 ( 微信同號 )               M: +886-939-653-958

伯東版權所有, 翻拷必究！