模組化設計
使用 PV MassSpec 軟體, 操作簡單
優異的長期穩定性
靈敏度更高, 動態範圍大
測量速度快 125 μs/u。
簡單的系統集成 ( 通過 OPC-UA )
支援舊款 HiQuad® 升級為 HiQuad® Neo
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高精度氣體分析儀 HiQuad® Neo 質量數: 1-512 amu
簡介
模組化設計
使用 PV MassSpec 軟體, 操作簡單
優異的長期穩定性
靈敏度更高, 動態範圍大
測量速度快 125 μs/u。
簡單的系統集成 ( 通過 OPC-UA )
支援舊款 HiQuad® 升級為 HiQuad® Neo
技术规格
伯東德國普發 Pfeiffer vacuum 高精度氣體分析儀 HiQuad® Neo 品質範圍可選 1-512 u, 測量速度 125 μs/u, 使用 PV MassSpec 軟體, 操作簡單. Pfeiffer HiQuad® Neo 可作為獨立設備集成在系統中, 適用於科研和各類分析系統. HiQuad® Neo 質譜分析儀模組化設計, 根據實際需要可以自由選擇品質範圍, 離子源, 放大器, IO 介面等.
高精度氣體分析儀 Pfeiffer HiQuad® Neo 優勢
模組化設計
使用 PV MassSpec 軟體, 操作簡單
優異的長期穩定性
靈敏度更高, 動態範圍大
測量速度快 125 μs/u。
簡單的系統集成 ( 通過 OPC-UA )
支援舊款 HiQuad® 升級為 HiQuad® Neo
質譜分析儀 HiQuad® Neo ( QMG 800 )基本組成
QMS 800: 機架控制單元與雜項板
QMH 800: 射頻發生器
QMA 400/430: 四級杆分析儀
EP 822: 前置放大器
PV MassSpec software: 操作軟體
質譜分析儀 HiQuad® Neo 技術規格
|
質量數 u |
1-300 |
1-512 *3 |
|
檢測極限 hPa |
2X10-15 |
1X10-15 |
|
Ar 靈敏度,最低 *1) A/hPa |
2X10-4 |
5X10-4 |
|
最大工作壓力 法拉第 hPa |
1X10-4 |
1X10-4 |
|
最大工作壓力 SEV hPa |
1X10-5 |
1X10-5 |
|
分壓比 SEV ppb |
<1 |
<0.5 |
|
測量振動, 最小 |
125 μs/u – 60 s/u |
125 μs/u – 60 s/u |
|
分析儀 |
QMA 430 |
QMA 400 |
|
杆系統, 材料/直徑 mm |
不銹鋼 / 8 |
Mo / 8 |
|
高頻發生器 HF |
QMH 800-3 |
QMH 800-5 |
|
測電計前置放大器 |
EP 822 |
EP 822 |
|
分析儀工作溫度 °C |
150 |
150 |
|
分析儀烘烤溫度 °C |
400 |
400 |
|
連接法蘭 |
DN 63 CF-F |
DN 63 CF-F |
*1) 偏轉單元中的法拉第, 單位解析度, 帶磁鐵的交叉束離子源, 發射 1 mA
*2) 帶磁鐵, 最高 300°C
*3) 八小時內穩定性 < 0.1％, 對於品質 40 和 41 u, 對鄰近品質的影響 < 0.1 ppm
質譜分析儀 HiQuad® Neo 應用
適用于更高精度要求和測量速度要求的 EUV 極紫外光刻的潔淨度驗證 , 科研和各類分析系統.
伯東根據您的實際需求, 提供可定制版本的質譜分析儀, 例如: 壓力控制進氣, 特殊進氣系統, 特殊外殼設計等, 滿足不同應用. 點擊瞭解更多應用案例 >>
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