全磁浮分子泵 ATH-M / ATP-M

伯東代理 Pfeiffer 普發全磁浮分子泵 ATH-M / ATP-M, 五軸磁懸浮軸承系統, 可實現高真空, 超高真空乃至 10^-10 hPa 的極高真空度. Pfeiffer 普發全磁浮分子泵 ATH-M / ATP-M 在保證高抽速的同時實現超低振動運行.

憑藉磁懸浮軸承實現免維護, 低噪音, 低振動
Pfeiffer 普發全磁浮分子泵專為半導體製造, 工業應用和研發等嚴苛應用設計, 其工作原理基於高速轉子技術, 通過電磁作用結合精密電子控制系統, 使轉子懸浮旋轉, 避免與泵體接觸. 這種非接觸式運轉消除了摩擦, 不僅可以防止渦輪分子泵的部件磨損, 還實現了免維護, 同時降低了運行噪音和振動水準. 這使得全磁浮分子泵 ATH-M 和 ATP-M 特別適用于對振動敏感的半導體製造等應用.

此外, 當電力中斷時, 泵體旋轉動能轉化的電能可為磁懸浮軸承持續供電, 確保斷電情況下仍能穩定運行數分鐘.

運行成本更低
Pfeiffer 普發全磁浮分子泵採用變頻直流 DC 電機驅動轉子. 通過調節轉子轉速匹配目標真空度, 從而節省能源和成本. 在最新一代的 ATH-M 和 ATP-M 系列渦輪分子泵中, 驅動裝置集成於泵體內部, 確保了設備佔用空間小.

部分 ATH-M 型號還配備集成式加熱系統, 可在嚴苛的化學環境中保持真空泵的性能. 這一特性對於化學氣相沉積 CVD 等應用至關重要, 能夠有效防止化學反應副產物在真空系統內部凝結. 集成加熱功能可使泵體持續恒溫運行, 降低了冷凝和殘留物堆積的風險.

主要型号

全磁浮分子泵

氮氣抽速 1250 l/s

全磁浮分子泵 ATH 4506 MT

技术参数

類型	系類	型號	氮氣抽速 l/s	最大極限真空 hPa	氮氣壓縮比	轉速 rpm ± 2 %
全磁浮分子泵 Holweck 級	ATH	ATH 500 M	350	＜ 5X10^-10	1X10⁸	49,200
		ATH 1600 M	1,360	＜ 5X10^-10	1X10⁸	49,200
		ATH 2300 M	2,150	＜ 5X10^-10	1X10⁸	49,200
		ATH 2804 M	2,350	＜ 5X10^-10	1X10⁸	49,200
		ATH 3204 M	2,800	＜ 5X10^-10	1X10⁸	49,200
全磁浮分子泵無 Holweck 級	ATP	ATP 1603 M	1,400	＜ 5X10^-10	1X10⁸	49,200
全磁浮分子泵無 Holweck 級	ATP	ATP 2300 M	2,050	＜ 5X10^-10	1X10⁸	49,200

伯东企业(上海)有限公司

全磁浮分子泵 ATH-M / ATP-M

全磁浮分子泵 ATP 1603 M

全磁浮分子泵 ATP 2300 M

全磁浮分子泵 ATH 500 M

全磁浮分子泵 ATH 1600 M

全磁浮分子泵 ATH 2300 M

全磁浮分子泵 ATH 2804 M

全磁浮分子泵 ATH 3204 M

全磁浮分子泵 ATH 4506 M

全磁浮分子泵 ATH 4506 MT

官方微信服务号

在线客服