ATH 1600 M 磁懸浮渦輪分子泵核心科技是五軸控制全磁浮軸承, 免維護, 無需潤滑. 保證分子泵內部清潔無油. 全磁浮軸承保證了轉子的穩定性, 在高速運轉過程中無摩擦, 無磨損, 低噪音低振動. 可延長分子泵的使用壽命
氮氣的抽速最高可達 1360 l/s
使用外部 Magpower 電子驅動控制單元
在任何方向安裝
水冷, 加熱
CE 標記/完全符合 RoHS
全磁浮分子泵 ATH 1600 M 氮气抽速: 1360 l/s
簡介
ATH 1600 M 磁懸浮渦輪分子泵核心科技是五軸控制全磁浮軸承, 免維護, 無需潤滑. 保證分子泵內部清潔無油. 全磁浮軸承保證了轉子的穩定性, 在高速運轉過程中無摩擦, 無磨損, 低噪音低振動. 可延長分子泵的使用壽命
氮氣的抽速最高可達 1360 l/s
使用外部 Magpower 電子驅動控制單元
在任何方向安裝
水冷, 加熱
CE 標記/完全符合 RoHS
技术规格
伯東代理普發 Pfeiffer 磁懸浮渦輪分子泵 ATH 1600 MT, 使用 Pfeiffer Holweck 級 5 軸磁懸浮技術, ATH 1600 MT 對氮氣的抽速最高可達 1360 l/s, 水冷, 可加熱抗腐蝕, 可以安裝在任何方向.
磁懸浮渦輪分子泵 ATH 1600 MT 多種配置可選 滿足不同需要
1. 兩種介面:DN 200/250
2. 兩種密封方式:ISO-F/CF-F
3. 另有可遠端控制款供客戶選擇
全磁浮渦輪分子泵 ATH 1600 MT 技術參數:
|
軸承 |
五軸控制全磁浮軸承 |
|
轉速 |
39000 min-1 |
|
對氮氣的壓縮比 |
> 1 · 10 8 |
|
最大進氣壓力N2 |
2.2 hPa |
|
對氮氣的抽速 |
1360 l/s--1600 l/s |
|
啟動時間 |
< 6 min |
|
極限真空度 |
< 6 · 10-9 hPa |
|
重量 |
34 (分子泵) + 8(分子泵電源控制器) kg |