HiPace 1800 分子泵對各種氣體的高抽吸能力: 不論是小分子量氣體 (H2, He) 和大分子量氣體 (Ar, CF4)都有很高的抽速.
高工藝適用性, 防止進入顆粒, 高氣流量
分子泵獲得 SEMI S2, UL, CSA, TüV 認證
防護等級 IP 54, 符合工業環境應用要求
分子泵安裝角度可選 0-90° 或 90-180°
提供抗腐蝕型號
帶節流閥和閥門的集成淨化氣體系統
渦輪分子泵 HiPace 1800 抽速: 1450 l/s
簡介
HiPace 1800 分子泵對各種氣體的高抽吸能力: 不論是小分子量氣體 (H2, He) 和大分子量氣體 (Ar, CF4)都有很高的抽速.
高工藝適用性, 防止進入顆粒, 高氣流量
分子泵獲得 SEMI S2, UL, CSA, TüV 認證
防護等級 IP 54, 符合工業環境應用要求
分子泵安裝角度可選 0-90° 或 90-180°
提供抗腐蝕型號
帶節流閥和閥門的集成淨化氣體系統
技术规格
伯東銷售維修德國普發渦輪分子泵 Pfeiffer HiPace 1800,抽速可達 1450 l/s 的高性能渦輪分子泵. 對各種氣體均有高抽吸能力, 高工藝適用性, 防止進入顆粒. 集成驅動電路, Pfeiffer HiPace 1800 適用於工業環境, 通過保護等級 IP54. 帶有氣體密封閥 24 V DC的集成型氣體密封系統.
分子泵 HiPace 1800 技術參數:
|
型號 |
介面 DN |
抽速 l/s |
壓縮比 |
最高啟動壓強mbar |
極限壓力 |
全轉速氣體流量hPa l/s |
啟動 |
重量 |
|||
|
進氣 |
排氣 |
氮氣 |
氦氣He |
氫氣 H2 |
氮氣 |
氮氣N2 |
hPa |
氮氣N2 |
min |
kg |
|
|
Hipace 1800 |
200 |
40 |
1,450 |
1,650 |
1,700 |
> 1X108 |
1.8 |
< 1X10–7 |
20 |
4 |
33 – 34 |
渦輪分子泵 HiPace 1800 C 系列:抗腐蝕設計, 專為腐蝕性氣體應用環境而設計研發
渦輪分子泵 HiPace 1800 U 系列:可以倒裝
伯東銷售維修 Pfeiffer 普發渦輪分子泵 HiPace 系列憑藉緊湊結構和卓越性能, 適用于高真空和超高真空應用.HiPace 渦輪分子泵採用混合或磁懸浮軸承系統, 確保低噪音和低振動運行. 此外, 渦輪分子泵 HiPace 還提供特殊型號, 包括針對氫氣等輕質氣體壓縮的版本, 以及配備耐腐蝕塗層的型號. 這些豐富的專用版本選擇, 使 Pfeiffer 普發渦輪分子泵 HiPace 為塗層, 半導體製造和分析應用提供更優的解決方案.
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上海伯東: 葉小姐 臺灣伯東: 王小姐
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