ThermoChuck 是用於晶圓測試的導電加熱和冷卻系統, 一般搭配晶圓探針台共同使用, 提供 -65 至 +200°C 高低溫環境, 適用晶圓 150 mm, 200 mm, 可用於鐳射微調 Laser Trim 和晶圓老化 Burn-in 測試, 例如低洩漏探測 (fA級) 和高電壓探測 (高達10 kv)
技术参数
適用晶圓尺寸: 150 和 200 mm
電壓 115V 或 220V
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型號 |
溫度範圍°C |
冷卻 |
加熱 |
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TP03000A |
-65 to +200°C |
機械製冷, 密閉乙二醇迴圈冷卻 |
熱電 |
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TP03010A |
+20 to +200°C |
風冷或水冷* |
熱電 |
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TP03010B |
0 to +200°C |
密閉乙二醇迴圈冷卻或水冷 |
熱電 |
* 用戶提供冷卻介質
