伯東銷售維修德國普發渦輪分子泵 Pfeiffer HiPace 60P 抽速可達到 64 l/s. 分子泵 HiPace 60P 集成氮氣吹掃閥, 耐粉塵, 特別適合工業環境, 無 Holweck-stage, 通過保護等級 IP54. 集成控制器 TC 110 保證分子泵的安全性. 渦輪分子泵 HiPace 60P 可以安裝在任何方向, 自然水冷或風冷. 對標 Edwards STP 磁懸浮分子泵
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渦輪分子泵 HiPace 60P 抽速: 64 l/s
簡介
伯東銷售維修德國普發渦輪分子泵 Pfeiffer HiPace 60P 抽速可達到 64 l/s. 分子泵 HiPace 60P 集成氮氣吹掃閥, 耐粉塵, 特別適合工業環境, 無 Holweck-stage, 通過保護等級 IP54. 集成控制器 TC 110 保證分子泵的安全性. 渦輪分子泵 HiPace 60P 可以安裝在任何方向, 自然水冷或風冷. 對標 Edwards STP 磁懸浮分子泵
技术规格
伯東銷售維修德國普發渦輪分子泵 Pfeiffer HiPace 60P 抽速可達到 64 l/s. 分子泵 HiPace 60P 集成氮氣吹掃閥, 耐粉塵, 特別適合工業環境, 無 Holweck-stage, 通過保護等級 IP54. 集成控制器 TC 110 保證分子泵的安全性. 渦輪分子泵 HiPace 60P 可以安裝在任何方向, 自然水冷或風冷. 對標 Edwards STP 磁懸浮分子泵.
分子泵 HiPace 60P 技術參數:
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型號 |
HiPace® 60 P,TC 110, DN 63 ISO-K |
HiPace® 60 P,TC 110 RS,DN 63 ISO-K |
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複合軸承 |
陶瓷球軸承 |
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Ar 壓縮比 |
2 X106 |
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H2 壓縮比 |
2 X102 |
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He 壓縮比 |
3.5 X103 |
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N2 壓縮比 |
1 X106 |
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標準冷卻 |
對流 |
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可選冷卻 |
風冷, 水冷 |
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冷卻水消耗 |
75 l/h |
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冷卻水溫度 |
5-25 °C |
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電子驅動 |
TC 110 |
TC 110 RS |
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進氣法蘭 |
DN 63 ISO-K |
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排氣法蘭 |
DN 16 ISO-KF, G ¼" |
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最大預抽真空, N2 |
4 hPa |
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全轉速時氣體流量, Ar |
0.83 hPa l/s |
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全轉速時氣體流量, H2 |
55 hPa l/s |
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全轉速時氣體流量, He |
55 hPa l/s |
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全轉速時氣體流量, N2 |
9.2 hPa l/s |
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通訊介面 |
RS-485, Remote |
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安裝方式 |
任意位置安裝 |
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操作電壓 |
24 (± 5 %) V DC |
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允許最大磁場 |
4 mT |
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保護類型 |
IP 54 |
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抽速 Ar |
63 l/s |
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抽速 H2 |
28 l/s |
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抽速 He |
48 l/s |
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抽速 N2 |
64 l/s |
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轉速 ± 2 % |
90,000 rpm |
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啟動時間 |
1.1 min |
1 min |
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極限真空 |
< 1X10-6 hPa |
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放氣介面 |
G 1/8" |
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重量 |
2.2 kg |
2.3 kg |
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分子泵應用 HiPace 60P: 專為抽氣環境含小顆粒懸浮物設計研發, 耐粉塵設計, 廣泛應用於鍍膜和工業領域.
鍍膜: 光伏, CD / DVD / PVD
研發: 納米技術, 生物技術
分析儀器: 電子顯微鏡, 檢漏, 小型質譜, 表面分析, 殘餘氣體分析
工業: 醫學技術, 工業檢漏, 隔離真空, 燈管製造
