分子泵

伯東代理 Pfeiffer 普發渦輪分子泵抽速範圍 10 至 3000 L/S, 轉速最高 90,000 rpm, 極限真空最大 1E-11 mbar, 對小分子氣體具有更高的壓縮比, 實踐證明 Pfeiffer 渦輪分子泵執行時間可以達到 100,000 小時! 普發分子泵提供複合軸承分子泵和五軸磁懸浮分子泵二大系列滿足不同應用, 推薦搭配 Pfeiffer 旋片泵, 渦旋幹泵, 隔膜泵, 多級羅茨泵共同使用.

推出鐳射平衡技術 LASER BALANCING™ 渦輪分子泵 HiPace 30 Neo, HiPace 80 Neo

Pfeiffer 普發渦輪分子泵 HiPace 系列獲得 Semi S2, UL, CSA 和 Nema 12 認證. 為高真空應用提供解決方案, 適用于超高真空排氣台, 質譜分析, 電子顯微術, 測量技術, 粒子加速器和等離子體物理方面的應用. 除了用於分析, 真空工藝和半導體技術外, 還可用於真空鍍膜, 研發以及工業領域. 推薦分子泵典型應用 >>

各系列

分流式分子泵 SplitFlow

多級結構逐級提升真空度

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全磁浮分子泵 ATH-M / ATP-M

五軸磁懸浮軸承系統

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渦輪分子泵 HiPace

抽速: 10 至 3000 L/S

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渦輪分子泵組 HiCube Neo

提供臺式和移動式兩種類型

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技术参数

类型	系类	型号	氮气抽速 l/s	最大极限真空 hPa	氮气压缩比	转速 rpm ± 2 %
涡轮分子泵	HiPace@	HiPace 60	64	＜ 5X10^-10	1X10⁶	90,000
		HiPace 80	67	＜ 5X10^-10	1X10¹¹	90,000
		HiPace 300	260	＜ 5X10^-10	1X10¹¹	60,000
		HiPace 350	300	＜ 5X10^-10	1X10¹¹	60,000
		HiPace 450	380	＜ 5X10^-10	1X10¹¹	60,000
		HiPace 700	685	＜ 5X10^-10	1X10¹¹	49,200
		HiPace 800	790	＜ 5X10^-10	1X10¹¹	49,200
		HiPace 1200	1,250	＜ 5X10^-10	1X10⁸	49,200
		HiPace 1500	1,400	＜ 5X10^-10	1X10⁸	49,200
		HiPace 1800	1,450	＜ 5X10^-10	1X10⁸	49,200
		HiPace 2300	1,900	＜ 5X10^-10	1X10⁸	49,200
涡轮分子泵激光动平衡技术	HiPace@ Neo	HiPace 10 Neo	12	＜ 5X10^-10	1X10⁸	49,200
		HiPace 30 Neo	32	＜ 5X10^-10	1X10⁸	49,200
		HiPace 80 Neo	67	＜ 5X10^-10	1X10⁸	49,200
分流式分子泵	SplitFlow™	SplitFlow™ 50	35	＜ 5X10^-10	1X10⁸	49,200
全磁浮分子泵 Holweck 级	ATH	ATH 500 M	350	＜ 5X10^-10	1X10⁸	49,200
		ATH 1600 M	1,360	＜ 5X10^-10	1X10⁸	49,200
		ATH 2300 M	2,150	＜ 5X10^-10	1X10⁸	49,200
		ATH 2804 M	2,350	＜ 5X10^-10	1X10⁸	49,200
		ATH 3204 M	2,800	＜ 5X10^-10	1X10⁸	49,200
全磁浮分子泵无 Holweck 级	ATP	ATP 1603 M	1,400	＜ 5X10^-10	1X10⁸	49,200
全磁浮分子泵无 Holweck 级	ATP	ATP 2300 M	2,050	＜ 5X10^-10	1X10⁸	49,200

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