SRG 磁懸浮轉子真空計,高精度的真空測量
伯東 ph-instruments 磁懸浮轉子真空計, 基於旋轉轉子 SRG 技術開發, 不僅僅定位為傳統真空計的替代品, 而是作為確保先進製造制程中計量完整性的基礎技術. 透過提供高度準確和穩定的真空測量, ph-instruments SRG 旋轉轉子真空計能夠實現更嚴格的制程式控制制, 減少變異性, 應用並提高半導體製造, 鍍膜, 顯示面板, 光伏, 科研等高精密應用中的良率和產品品質.
SRG 磁懸浮轉子真空計在 0.01 至 1 x 10-6 mbar 精度 1 %. 耐腐蝕抗污染, 長期穩定. 提供多種型號
ph-instruments 高真空磁懸浮轉子真空計原理簡單: 測量管 (內置一個 4.5 mm 滾珠軸承球作為壓力感測器), 根據需要安裝測量頭. 機頭通過電磁力與球相互干擾, 無觸點測量旋轉球在運行過程中的旋轉頻率變化.
計量級真空規, 高度準確和穩定的真空測量, 不僅僅定位為傳統真空計的替代品, SRG 磁懸浮轉子真空計能夠實現更嚴格的制程式控制制, 減少變異性
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