伯東代理德國 ph-instruments 高真空磁懸浮轉子真空計, 基於旋轉轉子 SRG 技術開發, 在 0.01 至 1 x 10-6 mbar 精度 1 %. 全金屬設計, 耐腐蝕抗污染, 長期穩定 . ph-instruments 高真空磁懸浮轉子真空計原理簡單: 測量管 (內置一個 4.5 mm 滾珠軸承球作為壓力感測器), 根據需要安裝測量頭. 機頭通過電磁力與球相互干擾, 無觸點測量旋轉球在運行過程中的旋轉頻率變化.
SRG 旋轉轉子真空計不僅僅定位為傳統真空計的替代品, 而是作為確保先進製造制程中計量完整性的基礎技術. 透過提供高度準確和穩定的測量, SRG 旋轉轉子真空計能夠實現更嚴格的制程式控制制, 減少變異性, 提高半導體製造, 鍍膜, 顯示面板, 光伏, 科研等高精密應用中的良率和產品品質.
ph-instruments Dositorr SRG 磁懸浮轉子真空計優勢
自主: 物理測量方式, 不需要電離等過程
高精度測量
長期穩定
超清潔
全金屬設計, 堅固, 耐腐蝕
高真空測量
數位介面, 多型號可選
可替代離子規
Dositorr SRG 旋轉轉子真空計應用: 線上真空監測
替代離子規: 傳統電離式的真空規無法使用的情況
離子注入, 幹法刻蝕
低溫真空絕熱:液氮, 液氦高純氣體存儲
計量級的高精度真空計校準系統.
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主要型号
技术参数
Dositorr SRG 磁懸浮轉子真空計技術規格
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型号 |
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参考图片 |
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特点 |
多配置可选,方便 OEM 集成 |
可拆卸: 测量头和电子设备分离设计 |
配置显示器, 内置锂电池 |
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测量范围 |
7 Torr 至 4 x 10-7 Torr (10 mbar 至 5 x 10-7 mbar) |
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精度 |
7 Torr 至 0.07 Torr & 10 mbar 至 0.1 mbar 约读数的 10 %； |
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长期稳定性 |
< 每年 1 % 的漂移 |
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模拟接口 |
USB Type, 15pin,定制 |
USB Type C, 15pin |
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数字接口 |
USB,RS232(维护),RS 485 |
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模拟输出 |
0 - 10 VDC 可配置 |
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伯東德國 ph-instruments Dositorr SRG 磁懸浮轉子真空計適用於工藝中的連續, 自動, 高真空測量, 並提供多種靈活的解決方案.
DosiTorr: 感測器, 測量頭和電子設備集成在一個緊湊的單元中
CaliTorr: 電子測量頭可以與真空規分離用於烘烤
DosiTorr 擴展: 測量頭和電子設備分離, 便於在空間受限的設備中安裝
DosiTorr 配置: 設計用於 1:1 離子規更換配置電介面(隨插即用解決方案)
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若您需要進一步的瞭解 SRG 磁懸浮轉子真空計, 請參考以下聯絡方式
上海伯東: 葉小姐 臺灣伯東: 王小姐
M: +86 1391-883-7267 M: +886-939-653-958
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