2026-03-12 更新
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伯東 Pfeiffer 普發多級羅茨泵 ACP 28 G 特氣櫃應用
伯東代理 Pfeiffer 普發多級羅茨泵 ACP 28 G 為半導體設備中的特氣櫃提供乾燥, 潔淨的真空環境. 多級羅茨泵 ACP 28 G 針對腐蝕性氣體優化, 配置氮氣吹掃口, 適合嚴苛的工藝環境.
多級羅茨泵 ACP 28 G 特氣櫃應用優勢: ACP 28G 是耐腐蝕型多級羅茨幹泵, 適用於半導體, 光伏, 面板等行業特氣櫃的負壓抽真空, 吹掃置換, 洩漏捕捉與安全排氣場景設計, 以無油潔淨, 防腐耐用, 穩定可靠, 緊湊低耗, 長週期免維護, 成為高危 / 高純特氣輸送系統的理想真空解決方案.
提供乾燥, 無油, 潔淨的真空環境:
適用於腐蝕性氣體,氮氣吹掃流量300 hPa（相對）超壓值
氣冷型, 更低能耗
符合 CE 標準, 通過 UL/CSA 認證, SEMI S2 等認證
Pfeiffer 普發多級羅茨泵 ACP 28 G 特氣櫃典型應用場景
- 氣瓶櫃 / 特氣櫃負壓維持, 洩漏抽除
- 管路與腔體真空吹掃, 氣體置換
- 有毒 / 腐蝕 / 自燃特氣安全排氣與尾氣前級抽送
- 高純氣體系統真空測漏, 保壓試驗
Pfeiffer 普發多級羅茨泵 ACP 28 G 技術規格
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不含氣鎮或吹掃的極限壓力, 最大值 |
4X10-2 hPa |
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典型的最終壓力, 帶氮氣吹掃, 50 Hz |
2X10-1 hPa |
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冷卻類型 |
空氣（強制對流） |
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抽速 |
27 m³/h |
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氮氣密封氣體流量 |
3.7 slpm (0 °C) |
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電子驅動單元安裝類型 |
集成電子驅動單元 |
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電機類型 |
單相電機 |
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輸入電壓 |
110-230 V AC (±10 %), 50/60 Hz |
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噪音值 |
65 dB(A) |
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連接法蘭（進口） |
DN 25 ISO-KF |
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重量（約） |
30 kg |
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尺寸（長 x 寬 x 高） |
647 x 193 x 322 mm |
伯東 Pfeiffer 普發 ACP 系列幹式真空泵 (多級羅茨泵) , 採用非接觸式運行設計, 結合多級壓縮技術, 轉子和定子之間不使用潤滑油和密封材料, 抽氣模組無磨損件, 無顆粒產生, 有效保證多級羅茨泵實現無油, 無顆粒污染的乾燥真空環境, Pfeiffer ACP 系列幹泵可作為分子泵的前級泵, 超長的使用壽命, 提供耐腐蝕型號供選擇.
若您需要進一步的瞭解 Pfeiffer 普發 ACP 系列幹式真空泵 詳細資訊或討論, 請參考以下聯絡方式：
上海伯東: 葉小姐 臺灣伯東: 王小姐
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