HVA 不銹鋼高真空閘閥 21200 系列

不銹鋼材質的百萬週期真空閘閥 1,000,000 啟閉次數
閥門口徑 DN 16 -320 mm
烘烤溫度不超過 150°C
任意位置安裝
電磁閥控制並帶有手動超控
閥門真空腔內沒有機械鎖, 特別適合應用於半導體製造和其他要求低振動的敏感加工工業

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HVA 不銹鋼高真空閘閥 21200 系列口徑:DN16-320 mm

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伯東美國 HVA 不銹鋼百萬週期真空閘閥 21200 系列特別適合 1x10^{- 9} mbar 高真空和烘烤溫度不超過 150°C的應用. 閥門真空腔內沒有機械鎖, 這對於需要無振動運行的半導體及精密工藝而言極為有利. HVA 21200 系列閘閥所有活動部件都配有硬化軸, 可以減少顆粒物的產生, 並使動作更加順暢.

HVA 不銹鋼百萬週期真空閘閥 21200 系列超長使用壽命 1,000,000 啟動次數, 清潔和高密封性保證 HVA 閘閥適用於低溫泵, 渦輪分子泵, 離子泵以及其他需要清潔, 高迴圈次數, 低放氣量的閥門應用.

HVA 不銹鋼百萬週期真空閘閥 21200 系列特點
直線驅動允許使用焊接波紋管來密封驅動器. 獨特的氣缸設計使衝擊和振動減少到更小.閥門真空腔內沒有機械鎖, 因此特別適合應用於半導體製造和其他要求低振動的敏感加工工業. 所有移動的接頭都有硬軸有效減少微粒的產生並且使驅動更容易.

HVA 不銹鋼百萬週期真空閘閥 21200 系列技術參數

閥門材質：
閥門主體	304不銹鋼
焊接波紋管軸封	AM-350
驅動軸和驅動銷	硬質不繡鋼
密封件	氟橡膠
真空：
壓力範圍	1x10^-9 mbar
漏率	< 2x10^-9 mbar l/S
差壓關閉	1 bar (任意位置)
開啟前最大壓力	≤ 30 mbar
烘烤溫度（不含電磁閥）：
佛橡膠密封	150 °c
驅動方式	手動 60 °c;氣動 60 °c
使用壽命：1,000,000啟閉次數
公稱通徑：DN16-320 mm

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