不繡鋼波紋管與工藝過程分離 - 免維護
真空閘閥堅固的雙重密封設計和低粒子
使用壽命 > 250,000 cycles 啟閉次數
高壓和機械加工的不銹鋼閥體
真空閘閥口徑 DN 50-200 mm
手動或氣動控制
標準法蘭口 KF, ISO, CF, ANSI, JIS 或客戶定制
真空閘閥最大烘烤溫度 250°C
滿足 MOCVD, ALD, PECVD 強腐蝕性化學物質和高溫環境的工藝需求
HVA 不銹鋼高真空閘閥 71000 口徑:DN 50 - 200 mm
簡介
不繡鋼波紋管與工藝過程分離 - 免維護
真空閘閥堅固的雙重密封設計和低粒子
使用壽命 > 250,000 cycles 啟閉次數
高壓和機械加工的不銹鋼閥體
真空閘閥口徑 DN 50-200 mm
手動或氣動控制
標準法蘭口 KF, ISO, CF, ANSI, JIS 或客戶定制
真空閘閥最大烘烤溫度 250°C
滿足 MOCVD, ALD, PECVD 強腐蝕性化學物質和高溫環境的工藝需求
技术规格
伯東美國 HVA 不銹鋼嚴苛工藝真空閘閥 71000 系列是專為最苛刻的真空環境而設計. 在諸如 MOCVD, ALD, PECVD 這樣的極端惡劣應用環境中, 真空閥門會暴露在強腐蝕性化學物質和高溫環境中. 這些副產品可能會對輪/軸承, 連杆的運作造成影響, 並可能導致閥門卡住. 因此, HVA 不銹鋼嚴苛工藝真空閘閥 71000 系列設計採用了無活動部件且與工藝過程完全隔離的波紋管來解決這一問題.
HVA 71000系列閥門採用了堅固的雙重密封設計, 以提高安全性; 其密封波紋管與工藝流程完全隔離,從而減少了維護工作量; 便於現場清潔和 O 型圈更換, 可減少停機時間; 還提供了一個可選的集成軟泵功能,以減少顆粒污染.
HVA 不銹鋼嚴苛工藝真空閘閥 71000 系列參數:
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閥門材質: |
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- 閥門主體 |
304 不銹鋼 |
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- 焊接波紋管軸封 |
AM - 350 |
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閥門密封方式 |
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- 高真空 |
氟橡膠 |
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真空: |
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- 壓力範圍 |
高真空 1x10-9 mbar |
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- 漏率 |
< 2x10-9 mbar l/S |
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- 差壓關閉 |
2 bar (任意位置) |
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- 開啟前最大壓力 |
≤ 1 bar |
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烘烤溫度(不含電磁閥): |
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- 佛橡膠密封 |
150 °c, 可選配置最大 250 °c |
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- 驅動方式 |
手動 60 °c, 氣動 60 °c |
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- 氣體 |
80 psig (5.5 bar) |
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- 電磁 |
4.0 Watts |
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- 供電 |
120 VAC 50 /60 Hz |
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- 可選電壓 |
24, 200, 240 VAC 50/60 Hz |
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- 位置指示器,最大 |
115 VAC |
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使用壽命: > 250,000 啟閉次數 (具體視實際使用情況決定) |
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公稱通徑: DN 50 - 200 mm |
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伯東美國 HVA 高真空和超高真空閥門中國總代理! HVA 是美國最大真空閥門製造商, 在美國有超過四十年的歷史, 擁有 6萬平方英尺的全自動無人加工工廠, HVA 提供高品質, 準確, 客制化的插板閥, 矩形閥. 無論是生產線升級, 還是新設備製造, HVA 都能提供經濟有效的真空閥門解決方案, 其中超高真空閘閥現已廣泛應用於半導體氣體管路和各類真空設備中!與友廠閥門對比, HVA 真空閘閥常規保養只需更換密封圈, 維護更加方便迅速!
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