超百萬次可靠運行壽命
不產生粉末，顆粒，防塵設計
閥動作平穩,振動和衝擊小
標準介面，或按客戶要求定制
閥體材料經過1E-6Torr,1100℃真空銅焊處理
適用於1E-9Torr,200℃ 條件下
專用於真空相關系統, 起隔絕真空壓力的作用
或直接联络客服: 139-1883-7267
HVA 矩形閥 88200 系列 DN32*222 mm-DN50*336
簡介
超百萬次可靠運行壽命
不產生粉末，顆粒，防塵設計
閥動作平穩,振動和衝擊小
標準介面，或按客戶要求定制
閥體材料經過1E-6Torr,1100℃真空銅焊處理
適用於1E-9Torr,200℃ 條件下
專用於真空相關系統, 起隔絕真空壓力的作用
技术规格
伯東美國 HVA 矩形閥門 88200 系列矩形板閥是採用了直連驅動技術的介面閥, 可靠使用壽命超過1百萬次. HVA 矩形閥門 88200 系列專用於真空相關系統, 起隔絕真空壓力的作用. HVA 矩形閥外形尺寸小, 設計緊湊, 可靠應用於生產線與過渡腔室 load-lock chamber 過渡腔室 load-lock chamber 與傳輸系統handling system, 傳輸系統 handling system 與工藝腔室 process chamber 等等需要分隔真空壓力的地方.
HVA 矩形閥 88200 系列技術參數
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連接形式： |
標準或定制法蘭 |
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主體材料： |
鋁 |
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公稱通徑： |
DN32*222 mm-DN50*336 DN32*222 mm-DN100*1250 |
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漏率: |
2x10E-9 AtmCC/Sec |
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壓力範圍: |
1x10E-9 Torr |
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烘烤溫度: |
《150℃ |
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適用介質： |
水、蒸汽、空氣 |
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密封形式： |
軟密封型 |
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驅動方式： |
氣動 |
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使用壽命: |
1000000 啟閉次數 |
伯東美國 HVA 高真空和超高真空閥門中國總代理! HVA 是美國最大真空閥門製造商, 在美國有超過四十年的歷史, 擁有 6萬平方英尺的全自動無人加工工廠, HVA 提供高品質, 準確, 客制化的插板閥, 矩形閥. 無論是生產線升級, 還是新設備製造, HVA 都能提供經濟有效的真空閥門解決方案, 其中超高真空閘閥現已廣泛應用於半導體氣體管路和各類真空設備中！與友廠閥門對比, HVA 真空閘閥常規保養只需更換密封圈, 維護更加方便迅速！
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上海伯東: 葉小姐 臺灣伯東: 王小姐
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应用案例
上海伯东针对不同客户, 提供定制化解决方案并能与客户携手合作研发新的项目应用
HVA 矩形阀 88200 系列 Load-lock 典型应用
应用于晶矽料生产设备中的 Load-lock 工位, 美国 HVA 矩形阀 88200 系列, 具有独特的密封系统, 可避免粉尘颗粒污染, 有效减少了维护次数,
HVA 真空阀门应用于亚洲最大的粒子加速器系统
应用于中国研制的亚洲粒子加速器系统 100MV,HVA 带孔真空插板阀, 可根据客户需求进行定制
HVA 真空插板阀（真空阀门）用于激光真空系统
HVA 真空插板阀（真空阀门）用于激光真空系统
HVA 真空闸阀 11000 系列应用于 OLED 镀膜机
为了节省抽空时间和防止基片的污染,会选择在 LOADLOCK 与主腔间进行快速传样,由于两腔室工作的真空度要求不同, 会在腔室之间增加 HVA高真空闸阀来隔离系统
HVA 高真空闸阀 11000 系列 应用于 E-Beam 镀膜机
E-Beam 电子束蒸发镀膜机用于在半导体, 光学, 超导材料等行业的研究与生产, 比如基片蒸发沉积金属, 导电薄膜, 半导体薄膜, 铁电薄膜, 光学薄膜和介质材料.
HVA 真空闸阀在气体管路系统应用
HVA 闸阀阀体和部件均是在真空炉中一体钎焊完成, 消除了虚漏的可能, 广泛用在气体输送环节 (气体管路系统) , 起到真空隔离密封作用.
上海伯东美国 HVA 真空插板阀应用于半导体管道中
美国 HVA 6寸, 8寸 真空插板阀已广泛应用于半导体气体管路中,满足高真空 1E10-9 mabr 和超高真空 1E10-10 mbar 应用
