HiPace 2800 IT 適用於離子注入系統的渦輪分子泵
氫氣抽速高達 2600 l / s
鍍鎳轉子更耐用
採用智慧溫度管理系統,能自我調整工藝條件, 減少泵內冷凝和沉積
使用壽命更長
或直接联络客服: 139-1883-7267
渦輪分子泵 HiPace 2800 IT 抽速: 2300 l/s
簡介
HiPace 2800 IT 適用於離子注入系統的渦輪分子泵
氫氣抽速高達 2600 l / s
鍍鎳轉子更耐用
採用智慧溫度管理系統,能自我調整工藝條件, 減少泵內冷凝和沉積
使用壽命更長
技术规格
伯東德國 Pfeiffer 適用於離子注入系統的渦輪分子泵 HiPace® 2800 IT.
在離子注入系統中, 氫氣等小分子氣體的抽速非常重要, 此款渦輪分子泵精巧的轉子設計保證小分子氣體的更大抽速, 確保了針對離子注入工藝的適應性, 渦輪分子泵 HiPace 2800 IT 針對氫氣抽速高達 2600 l / s, 是同級別分子泵中佼佼者.
渦輪分子泵 HiPace 2800 IT 採用智慧溫度管理系統, 減少泵系統內部的工藝冷凝和沉積, 該系統允許單獨設置溫度, 確保渦輪分子泵能夠適應工藝需求. 鍍鎳轉子確保泵本身耐用性.
渦輪分子泵 HiPace® 2800 IT 技術參數
|
法蘭（進氣端） |
DN 250 ISO-F |
|
法蘭（出氣端） |
DN 40 ISO-KF |
|
排氣連接 |
G 1/8“ |
|
氮氣抽速 |
2,300 l/s |
|
氬氣抽速 |
2,100 l/s |
|
氦氣抽速 |
2,900 l/s |
|
氫氣抽速 |
2,600 l/s |
|
轉速 |
±2 % 27,300 rpm |
|
執行時間 |
8.6 min |
|
在全轉速情況下的氮氣氣流量 |
16 hPa l/s |
|
在全轉速情況下的氬氣氣流量 |
11 hPa l/s |
|
在全轉速情況下的氫氣氣流量 |
50 hPa l/s |
|
在全轉速情況下的氦氣氣流量 |
24 hPa l/s |
|
氮氣壓縮比 |
> 1X108 |
|
氬氣壓縮比 |
> 1X108 |
|
氦氣壓縮比 |
6X104 |
|
氫氣壓縮比 |
4X103 |
|
氮氣最大前級真空 |
0.8 hPa |
|
根據 PNEUROP 的極限壓力 |
< 1X10-7 hPa |
|
重量 |
62 kg |
|
冷卻方法 |
水 |
|
冷卻水耗量 |
100 l/h |
|
冷卻水溫度 |
15 – 25 °C |
|
介面 |
E74, RS-485 |
|
最大允許磁場 |
3.4 mT |
|
聲壓水準 |
< 50 dB(A) |
渦輪分子泵 HiPace® 2800 IT 適用領域: 離子注入機, 苛刻工藝
伯東銷售維修 Pfeiffer 普發渦輪分子泵 HiPace 系列憑藉緊湊結構和卓越性能, 適用于高真空和超高真空應用.HiPace 渦輪分子泵採用混合或磁懸浮軸承系統, 確保低噪音和低振動運行. 此外, 渦輪分子泵 HiPace 還提供特殊型號, 包括針對氫氣等輕質氣體壓縮的版本, 以及配備耐腐蝕塗層的型號. 這些豐富的專用版本選擇, 使 Pfeiffer 普發渦輪分子泵 HiPace 為塗層, 半導體製造和分析應用提供更優的解決方案.
若您需要進一步的瞭解 Pfeiffer 普發渦輪分子泵 HiPace詳細資訊或討論, 請參考以下聯絡方式：
上海伯東: 葉小姐 臺灣伯東: 王小姐
M: +86 1391-883-7267 ( 微信同號 ) M: +886-939-653-958
伯東版權所有, 翻拷必究！
