HiPace 80 穩健性工業設計和經過實踐證明的高可靠性分子泵軸承系統
結構緊湊, 滿足更小的安裝空間要求
分子泵高氣流量和高抽速
基本款任意角度安裝
防護等級 IP 54, 符合工業環境要求
可應用於腐蝕性氣體工藝
分子泵通過 SEMI S2 和 UL 認證
或直接联络客服: 139-1883-7267
渦輪分子泵 HiPace 80 抽速: 67 l/s
簡介
HiPace 80 穩健性工業設計和經過實踐證明的高可靠性分子泵軸承系統
結構緊湊, 滿足更小的安裝空間要求
分子泵高氣流量和高抽速
基本款任意角度安裝
防護等級 IP 54, 符合工業環境要求
可應用於腐蝕性氣體工藝
分子泵通過 SEMI S2 和 UL 認證
技术规格
伯東銷售維修德國普發 Pfeiffer 渦輪分子泵 HiPace 80 抽速可達到 71 l/s 高性能渦輪分子泵. HiPace 80 對所有氣體的高抽速和更高壓縮比使其廣泛應用於真空行業. 集成驅動電路, 適用於工業環境, 通過保護等級 IP54, 半導體 S2, UL / CSA 認證. 渦輪分子泵 HiPace 80 通過控制器監控運算資料盡可能保證分子泵的安全性. 渦輪分子泵 HiPace 80 可以任意位置安裝. 自然風冷, 多種配件可選滿足廣泛應用.
渦輪分子泵 HiPace 80 技術參數
|
進氣口 |
|
DN 63 ISO-K |
DN 63 CF-F |
DN 40 ISO-KF |
DN 63 ISO-K |
DN 63 CF-F |
DN 40 ISO-KF |
|
圖片 |
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分子泵控制器 |
型號 |
標配 |
標配 |
標配 |
選配 |
選配 |
選配 |
|
抽速 |
Ar L/S |
66 |
66 |
30 |
66 |
66 |
30 |
|
H2 L/S |
48 |
48 |
38 |
48 |
48 |
38 |
|
|
He L/S |
58 |
58 |
41 |
58 |
58 |
41 |
|
|
N2 L/S |
67 |
67 |
35 |
67 |
67 |
35 |
|
|
壓縮比 |
Ar |
1X1011 |
1X1011 |
1X1011 |
1X1011 |
1X1011 |
1X1011 |
|
H2 |
1.4X105 |
1.4X105 |
1.4X105 |
1.4X105 |
1.4X105 |
1.4X105 |
|
|
He |
1.3X107 |
1.3X107 |
1.3X107 |
1.3X107 |
1.3X107 |
1.3X107 |
|
|
N2 |
1X1011 |
1X1011 |
1X1011 |
1X1011 |
1X1011 |
1X1011 |
|
|
全轉速時氣體流量 |
Ar hPa l/s |
0.54 |
0.54 |
0.54 |
0.54 |
0.54 |
0.54 |
|
H2 hPa l/s |
15.3 |
15.3 |
15.3 |
15.3 |
15.3 |
15.3 |
|
|
He hPa l/s |
2.7 |
2.7 |
2.7 |
2.7 |
2.7 |
2.7 |
|
|
N2 hPa l/s |
1.3 |
1.3 |
1.3 |
1.3 |
1.3 |
1.3 |
|
|
極限壓力 |
hPa |
＜1X10-7 |
＜5X10-10 |
＜1X10-7 |
＜1x10-7 |
＜5x10-10 |
＜1x10-7 |
|
最大預抽真空 |
N2 |
22 |
22 |
22 |
22 |
22 |
22 |
|
電壓 |
VDC |
24 |
24 |
24 |
24 |
24 |
24 |
|
最大電流 |
A |
4.6 |
4.6 |
4.6 |
5.5 |
4.6 |
4.6 |
|
轉速± 2 % |
RPM |
90000 |
90000 |
90000 |
90000 |
90000 |
90000 |
|
聲噪 |
dB(A) |
≤48 |
≤48 |
≤48 |
≤48 |
≤48 |
≤48 |
|
允許最大磁場 |
mT |
3.3 |
3.3 |
3.3 |
3.3 |
3.3 |
3.3 |
|
啟動時間 |
min |
1.7 |
1.7 |
1.7 |
3 |
3 |
3 |
|
重量 |
kg |
2.4 |
3.8 |
2.4 |
2.1 |
3.5 |
2.1 |
* 控制器選擇 TCP 350, 可以使分子泵在輻射環境中使用
分子泵應用 HiPace 80
分析儀器: 電子顯微鏡, 檢漏, 小型質譜, 表面分析, 殘餘氣體分析
半導體: PVD, inspection, bonding, MBE, load-locks
工業: 醫學技術, 工業檢漏, 隔離真空, 燈管製造
研發: 核研究, 等離子研究, 粒子加速器, 冷凍研究, 納米技術, 生物技術
伯東銷售維修 Pfeiffer 普發渦輪分子泵 HiPace 系列憑藉緊湊結構和卓越性能, 適用于高真空和超高真空應用.HiPace 渦輪分子泵採用混合或磁懸浮軸承系統, 確保低噪音和低振動運行. 此外, 渦輪分子泵 HiPace 還提供特殊型號, 包括針對氫氣等輕質氣體壓縮的版本, 以及配備耐腐蝕塗層的型號. 這些豐富的專用版本選擇, 使 Pfeiffer 普發渦輪分子泵 HiPace 為塗層, 半導體製造和分析應用提供更優的解決方案.
若您需要進一步的瞭解 Pfeiffer 普發渦輪分子泵 HiPace詳細資訊或討論, 請參考以下聯絡方式：
上海伯東: 葉小姐 臺灣伯東: 王小姐
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