HiPace 700 穩健性工業設計和經過實踐證明的高可靠性分子泵軸承系統
結構緊湊, 滿足更小的安裝空間要求
分子泵高氣流量和高抽速
基本款任意角度安裝
防護等級 IP 54, 符合工業環境要求
可應用於腐蝕性氣體工藝
分子泵通過 SEMI S2 和 UL 認證
或直接联络客服: 139-1883-7267
渦輪分子泵 HiPace 700 抽速:685 l/s
簡介
HiPace 700 穩健性工業設計和經過實踐證明的高可靠性分子泵軸承系統
結構緊湊, 滿足更小的安裝空間要求
分子泵高氣流量和高抽速
基本款任意角度安裝
防護等級 IP 54, 符合工業環境要求
可應用於腐蝕性氣體工藝
分子泵通過 SEMI S2 和 UL 認證
技术规格
伯東銷售維修 Pfeiffer 普發渦輪分子泵 HiPace 700, 對氮氣抽速可達到 685 l/s, 緊湊設計, 低能耗的同時保證分子泵更高抽吸能力.
渦輪分子泵 HiPace 700 占地面積小, 任意位置安裝. 適用於工業環境-保護等級 IP 54, 通過半導體 S2, UL / CSA 認證. 通過分子泵控制器監控運算資料, 集成風冷. 可選分子泵控制器 TC 400/TCP 350, 多種密封方式和配件供選擇, 伯東可協助客戶選型並提供完善的售後維修服務. 對標 Edwards STP 磁懸浮分子泵.
渦輪分子泵 HiPace 700 技術參數
|
進氣口 |
|
DN 160 ISO-K |
DN 160 CF-F |
DN 160 ISO-F |
DN 160 ISO-K |
DN 160 CF-F |
DN 160 ISO-F |
|
分子泵控制器 |
型號 |
標配 |
標配 |
標配 |
選配 |
選配 |
選配 |
|
抽速 |
Ar L/S |
665 |
665 |
665 |
665 |
665 |
665 |
|
H2 L/S |
555 |
555 |
555 |
555 |
555 |
555 |
|
|
He L/S |
655 |
655 |
655 |
655 |
655 |
655 |
|
|
N2 L/S |
685 |
685 |
685 |
685 |
685 |
685 |
|
|
壓縮比 |
Ar |
1X1011 |
1X1011 |
1X1011 |
1X1011 |
1X1011 |
1X1011 |
|
H2 |
4X105 |
4X105 |
4X105 |
4X105 |
4X105 |
4X105 |
|
|
He |
3X107 |
3X107 |
3X107 |
3X107 |
3X107 |
3X107 |
|
|
N2 |
>1X1011 |
>1X1011 |
>1X1011 |
>1X1011 |
>1X1011 |
>1X1011 |
|
|
全轉速時氣體流量 |
Ar hPa l/s |
3.5 |
3.5 |
3.5 |
1.5 |
1.5 |
1.5 |
|
H2 hPa l/s |
>14 |
>14 |
>14 |
>8 |
>8 |
>8 |
|
|
He hPa l/s |
20 |
20 |
20 |
5 |
5 |
5 |
|
|
N2 hPa l/s |
6.5 |
6.5 |
6.5 |
3 |
3 |
3 |
|
|
極限壓力 |
hPa |
＜1X10-7 |
＜5X10-10 |
＜1X10-7 |
＜1x10-7 |
＜5x10-10 |
＜1x10-7 |
|
最大預抽真空 |
N2 hPa |
11 |
11 |
11 |
11 |
11 |
11 |
|
電壓 |
VDC |
48 |
48 |
48 |
48 |
48 |
48 |
|
最大電流 |
A |
8.4 |
8.4 |
8.4 |
8.75 |
8.75 |
8.75 |
|
轉速± 2 % |
RPM |
49200 |
49200 |
49200 |
49200 |
49200 |
49200 |
|
聲噪 |
dB(A) |
≤50 |
≤50 |
≤50 |
≤50 |
≤50 |
≤50 |
|
允許最大磁場 |
mT |
6 |
6 |
6 |
6 |
6 |
6 |
|
啟動時間 |
min |
2 |
2 |
2 |
5.5 |
2.5 |
2.5 |
|
重量 |
kg |
11.5 |
17.4 |
12.1 |
10.6 |
16.5 |
10.6 |
* 控制器選擇 TCP 350, 可以使分子泵在輻射環境中使用
* P 系列: 耐粉塵
* PLUS 系列: 極微振動,雜散磁場低
* H 系列: 更高的壓縮比,尤其適用於輕質氣體
Pfeiffer 渦輪分子泵 HiPace 700 套裝:
伯東提供完整的分子泵套裝供您選擇, 包含一台 HiPace 700 分子泵主機和控制電源等, 分子泵套裝滿足基本的應用, 可以安裝在所有情況下並輕鬆調試渦輪分子泵. 套裝內配置如下:
|
分子泵 |
分子泵電源與控制器連接線 |
風扇 |
OmniControl 400 |
介面電纜, M12 m 直型/M12 m 直型, 3 m |
|
|
|
|
|
介面電纜, M12 m 直型/M12 m 直型, 3 m |
渦輪分子泵應用 HiPace 700
鍍膜: 光伏, CD / DVD / PVD, 光學鍍膜, 硬質塗層
工業: 醫學技術, 工業檢漏, 電子束焊接, 隔離真空, 熱處理, 燈管製造
研發: 核研究, 等離子研究, 粒子加速器, 冷凍研究, 納米技術, 生物技術
分析儀器: 質譜, 表面分析, 殘餘氣體分析
半導體: 超高真空排氣台, PVD, CVD, Beamline, Inspection, MBE, Loard-Locks
伯東銷售維修 Pfeiffer 普發渦輪分子泵 HiPace 系列憑藉緊湊結構和卓越性能, 適用于高真空和超高真空應用.HiPace 渦輪分子泵採用混合或磁懸浮軸承系統, 確保低噪音和低振動運行. 此外, 渦輪分子泵 HiPace 還提供特殊型號, 包括針對氫氣等輕質氣體壓縮的版本, 以及配備耐腐蝕塗層的型號. 這些豐富的專用版本選擇, 使 Pfeiffer 普發渦輪分子泵 HiPace 為塗層, 半導體製造和分析應用提供更優的解決方案.
若您需要進一步的瞭解 Pfeiffer 普發渦輪分子泵 HiPace詳細資訊或討論, 請參考以下聯絡方式：
上海伯東: 葉小姐 臺灣伯東: 王小姐
M: +86 1391-883-7267 ( 微信同號 ) M: +886-939-653-958
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应用案例
上海伯东针对不同客户, 提供定制化解决方案并能与客户携手合作研发新的项目应用
