HiPace 1200 對各種氣體的高抽吸能力: 不論是小分子量氣體 (H2, He) 和大分子量氣體 (Ar, CF4)都有很高的抽速.
高工藝適用性, 防止進入顆粒, 高氣流量
分子泵獲得 SEMI S2, UL, CSA, TüV 認證
防護等級 IP 54, 符合工業環境應用要求
監控運算資料盡可能的保證分子泵的安全性
分子泵安裝角度可選 0-90° 或 90-180°
提供抗腐蝕型號
帶節流閥和閥門的集成淨化氣體系統
或直接联络客服: 139-1883-7267
渦輪分子泵 HiPace 1200 抽速: 1250 l/s
簡介
HiPace 1200 對各種氣體的高抽吸能力: 不論是小分子量氣體 (H2, He) 和大分子量氣體 (Ar, CF4)都有很高的抽速.
高工藝適用性, 防止進入顆粒, 高氣流量
分子泵獲得 SEMI S2, UL, CSA, TüV 認證
防護等級 IP 54, 符合工業環境應用要求
監控運算資料盡可能的保證分子泵的安全性
分子泵安裝角度可選 0-90° 或 90-180°
提供抗腐蝕型號
帶節流閥和閥門的集成淨化氣體系統
技术规格
伯東銷售維修德國普發渦輪分子泵 Pfeiffer HiPace 1200, 抽速可達 1250 l/s 的高性能渦輪分子泵. 渦輪分子泵 HiPace 1200 對各種氣體均有高抽吸能力, 高工藝適用性, 防止進入顆粒. 集成驅動電路, 適用於工業環境, 通過保護等級 IP54. 通過控制器, 監控運算資料盡可能的保證分子泵的安全性. 渦輪分子泵 HiPace 1200 搭配控制器 TC 1200. 渦輪分子泵 HiPace 1200 通訊介面 RS-485, 遠端遙控（Profibus/DeviceNet 備詢）, 多種配件供客戶選擇. 對標 Edwards STP 磁懸浮分子泵.
Pfeiffer 普發渦輪分子泵 HiPace 1200 技術規格
|
型號 |
HiPace 1200 TC 1200 |
HiPace 1200 TC 1200 |
HiPace 1200 TC 1200 |
|
Ar 壓縮比 |
>1X108 |
>1X108 |
>1X108 |
|
H2 壓縮比 |
6X103 |
6X103 |
6X103 |
|
He 壓縮比 |
2X104 |
2X104 |
2X104 |
|
N2 壓縮比 |
>1X108 |
>1X108 |
>1X108 |
|
最大預抽真空, N2 hPa |
2 |
2 |
2 |
|
Ar全轉速時氣體流量hPa l/s |
11 |
11 |
6 |
|
H2 全轉速時氣體流量hPa l/s |
>30 |
>30 |
>30 |
|
He全轉速時氣體流量hPa l/s |
>30 |
>30 |
16 |
|
N2 全轉速時氣體流量hPa l/s |
20 |
20 |
16 |
|
操作電壓 V AC |
100-120 / 200-240 |
100-120 / 200-240 |
100-120 / 200-240 |
|
最大電流 A |
10 |
10 |
10 |
|
允許最大磁場 mT |
6 |
6 |
6 |
|
Ar抽速l/s |
1200 |
1200 |
1200 |
|
H2 抽速l/s |
1100 |
1100 |
1100 |
|
He 抽速 l/s |
1300 |
1300 |
1300 |
|
N2 抽速l/s |
1250 |
1250 |
1250 |
|
轉速 ± 2 % rpm |
37800 |
37800 |
37800 |
|
啟動時間 min |
2.5 |
2.5 |
2.5 |
|
極限真空 hPa |
1X10-7 |
1X10-7 |
5X10-10 |
|
重量 kg |
29.5 |
30.5 |
40.9 |
分子泵應用 HiPace 1200:
鍍膜: LED, 光伏, 硬碟鍍膜, 硬質塗層, 捲繞鍍膜, 光學鍍膜, CD / DVD / PVD
工業: 醫學技術, 電子束焊接, 隔離真空, 燈管製造
研發: 聚變研究, 等離子研究, 模擬空間站, 粒子加速器, 生物技術
半導體: 超高真空排氣台, PVD, CVD, Beamline, MBE
伯東銷售維修 Pfeiffer 普發渦輪分子泵 HiPace 系列憑藉緊湊結構和卓越性能, 適用于高真空和超高真空應用.HiPace 渦輪分子泵採用混合或磁懸浮軸承系統, 確保低噪音和低振動運行. 此外, 渦輪分子泵 HiPace 還提供特殊型號, 包括針對氫氣等輕質氣體壓縮的版本, 以及配備耐腐蝕塗層的型號. 這些豐富的專用版本選擇, 使 Pfeiffer 普發渦輪分子泵 HiPace 為塗層, 半導體製造和分析應用提供更優的解決方案.
若您需要進一步的瞭解 Pfeiffer 普發渦輪分子泵 HiPace詳細資訊或討論, 請參考以下聯絡方式：
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