KRi 電子中和器 RFN3000 受控生產中用作中和劑或陰極
技术规格
伯東美國 KRi 電子中和器 Electron Sources, 提供幾種類型的低能量高電流電子源. 電子源技術包含浸入式熱離子燈絲和非浸入式空心陰極發射器. 型號包含燈絲型中和器 Filament Neutralizer , 空心陰極中和器 Hollow Cathode Neutralizers, LFN2000, RFN3000,
通常, 這些電子源可以作為陰極和/或中和器與等離子體或離子源結合使用. 它們在惰性和反應性氣體環境中的操作是標準的. 電子源的發射電流是用電流反饋回路測量和控制. 由於這種精確可靠的電子源, KRi 電子中和器成功地用於靜電敏感應用和介電材料環境.
KRi 電子中和器安裝在材料處理環境中, 作為中和器集成到離子束源上, 或者可以集成到等離子體放電的電離過程中. 在其他應用中, 可以與磁控管陰極一起安裝以調整濺射操作.
KRi 電子中和器 Electron Sources 功能
離子束中和: 射頻離子源, 考夫曼離子源, 霍爾離子源和陽極層源
等離子體產生中的電離: 射頻離子源, 考夫曼離子源, 霍爾離子源
在正偏置分析儀器中, 電中和
磁控濺射中增強的電子通量
主要型號
|
|
|
|
|
|
燈絲型中和器 Filament Neutralizer |
空心陰極中和器 Hollow Cathode Neutralizers |
RFN3000 |
LFN2000 |
|
一般用於陰極和/或中和器與等離子體或離子源結合使用 |
空心陰極是 KRi 提供的幾種低能量和高電流電子源之一.通常用作離子和等離子體束受控生產中的中和劑或陰極 |
通常安裝在材料加工環境中, 並在離子和等離子束的受控生產中用作中和劑或陰極 |
安裝在離子源側面的非浸入式電子源. 它的工作範圍適用於低發射電流有利的應用 |
应用案例
上海伯东针对不同客户, 提供定制化解决方案并能与客户携手合作研发新的项目应用
