Pfeiffer 普發殘餘氣體分析儀(單四極杆質譜儀) PrismaPro

簡介

單四極杆質譜儀 PrismaPro 模組化設計, 相容性更強
PV MassSpec 軟體操作直觀, JSON 程式設計介面和多種介面易於系統集成
分析儀器和電子單元可靈活互換
雙燈絲, 更長使用壽命
最低可檢測分壓 3 X10-15 hPa
可直接連接真空計, 方便測量壓力
氣密離子源型號可選, 適合與進氣系統組合使用, 具有低氣體消耗和高信噪比的特點.
可通過乙太網進行聯網
高測量速度, 穩定性, 高解析度

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技术规格

伯東德國 Pfeiffer 殘餘氣體分析儀(四級杆質譜儀)集高靈敏度, 高穩定性和智慧操作於一體, 配置新一代的操作軟體 PV MassSpec, Pfeiffer 殘餘氣體分析儀可定量定性評估真空系統中的殘餘氣體成分. 最低可檢測分壓 3 X10^-15 hPa.

Pfeiffer 殘餘氣體分析儀 PrismaPro 技術參數:

型號	QMG 250 F1	QMG 250 F2	QMG 250 F3	QMG 250 M1		QMG 250 M2	QMG 250 M3
檢測器	法拉第 Faraday (F)			電子倍增器/法拉第 C-SEM / Faraday (M)
質量數 amu	1–100	1–200	1–300	1–100		1–200	1–300
四極杆直徑／長度	6 / 125 mm
最小檢測極限 F hPa *^1,2	4X10^-13	5X10^-13	7X10^-13	-		-	-
最小檢測極限 M hPa *^1,2	-	-	-	3X10^-15		4X10^-15	5X10^-15
對Ar的靈敏度 F A/hPa*³	5X10^-4	4X10^-4	3X10^-4	5X10^-4		4X10^-4	3X10^-4
最大工作壓力 F hPa	5X10^-4
最大工作壓力 M hPa	-	-	-	5X10^-5		5X10^-5	5X10^-5
對臨近質量數的影響^*1	< 10 ppm	< 20 ppm	< 50 ppm	< 10 ppm		< 20 ppm	< 50 ppm
操作溫度分析	200 °C (max. 150 °C when operating with SEM)
操作溫度電子	5 – 50 °C
烘烤溫度分析	300 °C (移除電子模組)
解析度	1 ms - 16 s/amu (10% 峰高)
連接法蘭	DN 40 CF-F
保壓時間	1 ms – 16 s/amu
重量	2.5 kg				3.2 kg

* ¹  開放式離子源
* ²  停留時間 4秒
*³   與 C-SEM相比, 具有較高的靈敏度

伯東 Pfeiffer 殘餘氣體分析儀 PrismaPro 應用場景
冷凍乾燥: 矽油檢測
電池研發質控: 鋰電池產氣分析, 電池注液後洩露檢漏
鍍膜工藝: 鍍膜過程監控
尾氣分析: 汽車尾氣或燃料電池放氣(質譜法線上測試氫氣純度)
化工催化: 石油裂化催化劑
電子器件封裝: 電子元器件氣氛監測
真空炬氣氛: 碳化矽長晶-質譜線上監控
工業檢漏

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