殘餘氣體分析儀 HiCube Neo RGA

質量數(量程)

1-100, 1-200, 1-300 u

入口

Evn 116 或閘閥或全金屬閥

人機交互

7英寸觸摸顯示器

總壓力測量

數字真空計 MPT 200 AR 或 HPT 200 AR

檢測限

3…5E-15 hPa

尺寸

583 x 446 x 434 mm

重量

22-27 kg 根據配置

渦輪分子泵組

HiCube™ 80 Neo

HiCube™ 80 Neo

分子泵

SplitFlow ^® 80

SplitFlow ^® 80

隔膜泵

MVP 015-2 DC

MVP 030-3 DC

電壓（範圍）

110 - 240 V; 50 / 60 Hz

氮氣抽速

67 l/s

前級泵在 50 Hz 時的泵送速度

1 m³/h

1.8 m³/h

極限真空

<1X10^-7 hPa

真空計

MPT 200 AR 或 HPT 200 AR

閥門

EVN 116 或閘閥或全金屬閥

PrismaPro

QMG 250 F1

QMG 250 F2

QMG 250 F3

QMG 250 M1

QMG 250 M2

QMG 250 M3

檢測器

法拉第 Faraday (F)

電子倍增器/法拉第 C-SEM/Faraday (M)

質量數 amu

1–100

1–200

1–300

1–100

1–200

1–300

四極杆直徑／長度

6 /125 mm

最小檢測極限 F hPa *^1,2

4X10^-13

5X10^-13

7X10^-13

-

-

-

最小檢測極限 M hPa *^1,2

-

-

-

3X10^-15

4X10^-15

5X10^-15

對Ar的靈敏度 F A/hPa*³

5X10^-4

4X10^-4

3X10^-4

5X10^-4

4X10^-4

3X10^-4

最大工作壓力 F hPa

5X10^-4

最大工作壓力 M hPa

-

-

-

5X10^-5

5X10^-5

5X10^-5

對臨近質量數的影響^*1

< 10 ppm

< 20 ppm

< 50 ppm

< 10 ppm

< 20 ppm

< 50 ppm

操作溫度 分析

200 °C (max. 150 °C when operating with SEM)

操作溫度 電子

5 – 50 °C

烘烤溫度 分析

300 °C

連接法蘭

DN 40 CF-F

保壓時間

1 ms – 16 s/amu

峰比值可重複性

± 0.5 %

介面

乙太網

電源電壓

100–240 V AC，50/60 Hz

HiCube™ RGA重量

25.5 - 26.2 kg