幹式真空泵 A 100 L,A 200 L

伯東銷售維修 Pfeiffer 幹式真空泵（多級羅茨泵）A 100 L-A 200 L，用於潔淨制程的整體式幹泵，緊湊設計，大抽速，低能耗，滿足半導體行業機台內直接安裝和快速抽空的設計要求，是load-lock、傳送腔及其他非腐蝕性工藝的完美解決方案。Pfeiffer 幹式真空泵 A 100 L排除了泵安裝中的真空管路影響，通過使用 Pfeiffer 整體式幹泵，可降低真空管路安裝、集成和調試的成本。Pfeiffer 幹式真空泵 A 100 L高可靠性和長期穩定性使其脫穎而出，現已廣泛應用於全世界範圍內的 300 mm 半導體工廠。

幹式真空泵 A 100 L-A 200 L平均故障間隔時間超過 195000 小時，提供乾燥無塵的潔淨真空，適合在無塵室中使用，整體式幹泵也為太陽能光電設備提供最佳解決方案。低噪音和低振動是該水冷型幹泵的其他優勢，小巧的體積保證了其在大型機台內集成的便利性，是各大設備廠商首選。

幹式真空泵 A 200 L是針對高氣流量應用的全新解決方案，抽速200 m3/h，再次展示出了其在整體式幹泵市場中全球領導地位。

伯東 Pfeiffer 幹式真空泵 A 100 L-A 200 L 主要優點
高氣流量，大抽速
結構緊湊，占地面積小
易於集成，運行成本低
低噪音和低震動，無油無塵
隨插即用系統：集成型監察裝置
幹式真空泵 RS232 / RS485 介面可選

Pfeiffer 幹式真空泵 A 100 L-A 200 L 應用行業
Load-lock 和傳送腔
半導體生產
光伏
工業（低溫，氣體製造，鐳射源）
分析儀（用於電子顯微術或表面分析的閘室）

Pfeiffer 幹式真空泵 A 100 L-A 200 L 技術參數

L:標準版本    ES:節能版本

幹式真空泵 A 100 L 標準版本
冷卻水迴圈，在前端配置執行時間記錄儀和三色 LED 指示燈時時顯示泵當前狀態。
 

A 100 L ES 節能版本
緊湊型幹泵集成節能模組，有效減少了 50% 的耗電量。冷卻水迴圈，在前端配置執行時間記錄儀和三色 LED 指示燈時時顯示泵當前狀態。