幹式真空泵 ACP 15

ACP 15 幹式真空泵非接觸設計, 無摩擦, 不會受到顆粒的污染 (在氣體輸送路徑中不存在磨損件)
無烴類蒸汽的回流 (ACP 幹泵對於泵模組是無潤滑劑)
恒定功率 (抽吸能力, 最高持續進氣壓力和最終壓力)
維護成本低, 維修間隔時間超長: ACP 15 幹泵完整大修僅每 20000 小時一次
幹式真空泵 ACP 15 是渦旋泵和油泵的合適替代品
氣冷型, 更低能耗
變頻器-計時表, 遠端操作模式 (RS-485, 幹觸點, Profibus可選)，多轉速選擇(節能，噪音低)
多種標準介面: 吹掃氣體, 氣鎮等
符合 CE 標準, 通過 UL/CSA 認證, SEMI S2 認證

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幹式真空泵 ACP 15 抽速: 14 m3/h

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伯東 Pfeiffer 普發幹式真空泵 ACP 15, 清潔無油, 滿足潔淨乾燥真空工藝的要求! ACP 15 抽速範圍 14 m³/h, 極限真空度 10^-2 mbar, 提供標準版本 SD 系列和抗腐蝕版本 G 系列, 滿足各種真空應用

Pfeiffer 普發幹式真空泵 ACP 15 基本參數：

型號	介面尺寸 DN	極限真空度 mbar		抽速	最大漏率	重量
型號	介面尺寸 DN	有氣鎮閥	無氣鎮閥	m3/h	mbar l/s	kg
ACP 15 SD ACP 15 G	25	0.1	3X10^-2	14	< 5X10^-7	23

標準 SD 版本適用於處理半導體等離子清洗等潔淨氣體.
G 版本針對腐蝕性氣體優化, 特別適合蝕刻工藝

Pfeiffer 普發幹式真空泵 ACP 應用：
1. 分析儀器; 2. 電子顯微鏡; 3. 表面分析儀; 4. 檢漏儀; 5. 質譜儀; 6. 光譜儀; 7. R&D; 8. 粒子加速器; 9. 分子泵組; 10. 實驗室; 11. 工業; 12. 燈具生產; 13. 真空鍍膜; 14. 低溫泵再生; 15. 等離子清洗; 16. 乾燥; 17. Load-lock;

伯東Pfeiffer 普發 ACP 系列幹式真空泵 (多級羅茨泵) , 採用非接觸式運行設計, 結合多級壓縮技術, 轉子和定子之間不使用潤滑油和密封材料, 抽氣模組無磨損件, 無顆粒產生, 有效保證多級羅茨泵實現無油, 無顆粒污染的乾燥真空環境, ACP系列幹泵可作為分子泵的前級泵, 超長的使用壽命, 提供耐腐蝕型號供選擇.

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