MaxCool 4000 H 低溫範圍:-98 至 -133C
真空抽氣時間縮短 75%
高效的抽水汽效率:327,800 到 220,000 l/s
產品產量提高 20% 到 100%
在工藝過程中降低水蒸汽的分壓力,從而獲得更高品質、更好的附著力、和多重沉積膜特性
相對於液氮製冷 LN2,Polycold 冷凍機選用無毒、環保型冷媒,可迴圈使用
低功率,低能耗,最大負載 4000 W
Polycold MaxCool 4000 H 水汽深冷泵 低溫範圍:-98 至 -133C
簡介
MaxCool 4000 H 低溫範圍:-98 至 -133C
真空抽氣時間縮短 75%
高效的抽水汽效率:327,800 到 220,000 l/s
產品產量提高 20% 到 100%
在工藝過程中降低水蒸汽的分壓力,從而獲得更高品質、更好的附著力、和多重沉積膜特性
相對於液氮製冷 LN2,Polycold 冷凍機選用無毒、環保型冷媒,可迴圈使用
低功率,低能耗,最大負載 4000 W
技术规格
伯東代理美國 Edwards 旗下 Polycold MaxCool 4000 H 水汽深冷泵/冷凍機,利用低溫冷媒(-100度)通過盤管,將水蒸氣吸附在冷盤上,快速吸附占真空腔內殘留氣體 65% 到 95% 的水汽。Polycold MaxCool 4000 H 冷凍機抽水氣效率高達 220,000 l/s,在真空度 10-2 至 10-8 mabr 之間快速吸附真空腔內殘餘水汽和油氣,目前 Polycold 冷凍機主要應用於半導體和真空鍍膜行業,客戶通過使用 Polycold 水汽深冷泵,產能可增加 20% 到 100%。MaxCool 4000 H 深冷泵提供單管路和雙管路配置滿足您的不同應用,可搭配伯東德國 Pfeiffer 分子泵,羅茨泵,幹泵和美國 KRI 考夫曼離子源共同使用。冷凍機 Polycold MaxCool 4000 H 是舊款型號 PFC-1102 HC全新升級款!~
Polycold冷凍機應用:Polycold 冷凍機利用新型無毒環保型冷媒,可完全替代目前液氮 LN2 冷凍法。與傳統 LN2 冷卻法對比,冷媒可迴圈使用,大大降低了企業成本。Polycold 冷凍機主要應用於真空鍍膜(濺鍍、蒸鍍)、半導體(晶圓加工)行業。
Polycold MaxCool 4000 H 水汽深冷泵優點:
低溫範圍:-98 至 -133C
真空抽氣時間縮短 75%
高效的抽水汽效率:327,800 到 220,000 l/s
產品產量提高 20% 到 100%
在工藝過程中降低水蒸汽的分壓力,從而獲得更高品質、更好的附著力、和多重沉積膜特性
相對於液氮製冷 LN2,Polycold 冷凍機選用無毒、環保型冷媒,可迴圈使用
低功率,低能耗,最大負載 4000 W
Polycold MaxCool 冷凍機組成:

A:Polycold 冷凍機主機(銅環和輪子可以選配,方便運輸)
B:外部冷凝管(外部連接管)
C:Feedthrough
D:真空腔
E:冷盤(低溫盤管)
Polycold MaxCool 4000 H 水汽深冷泵主要技術參數:
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標準性能 |
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最大負載:Watts |
4000 |
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抽水汽效率(理論值):l/s |
327,800 |
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保守抽速:l/s |
220,000 |
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極限真空:mbar |
7 x 10-8 |
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啟動壓力:atm |
1 |
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除霜時間:分鐘 |
5.5 |
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低溫盤管,連接管路 |
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盤管表面面積:m2 |
2.2 |
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單管路: |
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雙管路: |
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標準外部連接管長度:m |
2.44 |
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配套設施 |
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冷卻水流量:rate l/min. 29 C˚ |
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功率 kW |
19.2 |
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工作噪音(最大):db |
78 |
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占地空間(最小):m3 |
34 |
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重量:kg |
533 |
Edwards 旗下 Polycold 冷凍機(水汽深冷泵),超過40年的冷凍機研發及製造經驗。Polycold 冷凍機輔助抽真空,在真空度 10-2 至 10-8 mabr 之間快速吸附真空腔內殘餘水汽和油氣,幫助企業顯著提升產能和鍍膜品質。Polycold 冷凍機廣泛應用於鍍膜和半導體廠商。伯東是美國 Polycold 冷凍機代理,全權負責 Polycold 銷售服務.