Pfeiffer 普發殘餘氣體分析儀 PrismaPro 推出氣密離子源型號

伯東德國 Pfeiffer 殘餘氣體分析儀 PrismaPro 推出氣密離子源型號, 適合與進氣系統組合使用, 並具有低氣體消耗和高信噪比的特點. 殘餘氣體分析儀 PrismaPro 模組化設計滿足多種應用: 例如工業 ( 冷凍乾燥 )和分析儀器, 研發, 半導體生產和真空鍍膜技術等.

Pfeiffer 普发残余气体分析仪 PrismaPro

Pfeiffer 殘餘氣體分析儀 PrismaPro 技術參數:

型號	QMG 250 F1	QMG 250 F2	QMG 250 F3	QMG 250 M1		QMG 250 M2	QMG 250 M3
檢測器	法拉第 Faraday (F)			電子倍增器/法拉第 C-SEM / Faraday (M)
質量數 amu	1–100	1–200	1–300	1–100		1–200	1–300
四極杆直徑／長度	6 / 125 mm
最小檢測極限 F hPa *1,2	4X10-13	5X10-13	7X10-13	-		-	-
最小檢測極限 M hPa *1,2	-	-	-	3X10-15		4X10-15	5X10-15
對Ar的靈敏度 F A/hPa*3	5X10-4	4X10-4	3X10-4	5X10-4		4X10-4	3X10-4
最大工作壓力 F hPa	5X10-4
最大工作壓力 M hPa	-	-	-	5X10-5		5X10-5	5X10-5
對臨近質量數的影響*1	< 10 ppm	< 20 ppm	< 50 ppm	< 10 ppm		< 20 ppm	< 50 ppm
操作溫度分析	200 °C (max. 150 °C when operating with SEM)
操作溫度電子	5 – 50 °C
烘烤溫度分析	300 °C
連接法蘭	DN 40 CF-F
保壓時間	1 ms – 16 s/amu
重量	2.5 kg				3.2 kg

* 1  開放式離子源
* 2  停留時間 4秒
* 3   與 C-SEM 相比, 具有較高的靈敏度

若您需要進一步的瞭解殘餘氣體分析儀詳細資訊或討論, 請參考以下聯絡方式：
上海伯東：葉小姐臺灣伯東：王小姐
T: +86-21-5046-3511 ext 101 T: +886-3-567-9508 ext 161
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