掃描電子顯微鏡 SEM 作為一種分析技術, 在工業生產過程中, 適用於元件和產品的表面成分檢測. 廣泛應用於半導體行業, 食品監控, 醫療設備, 微電子以及一般性生產監控. 伯東代理德國 Pfeiffer 提供合適的真空產品組合, 針對不同的應用提供 SEM 真空系統定制化解決方案！

伯東推薦掃描電子顯微鏡 SEM 真空系統: 低振動, 高可靠性, 低能耗
電子束對樣品進行光柵式掃描. 首先, 真空柱頂端的電子源產生電子. 當電子的熱能克服源材料的逸出功時, 電子被發射而出. 然後, 它們被加速並被帶正電的陽極吸引. 整個電子柱需要處於真空條件下, 如同電子顯微鏡的所有元件一樣, 電子源被密封在一個特殊的腔室內,

通過這種方式保持真空並防止其受到污染, 振動或噪音. 真空在保護電子源不受污染的同時, 也使客戶獲得高解析度圖像成為可能. 如果缺少真空, 則電子柱中可能出現其他原子和分子. 它們與電子的相互作用將導致電子束出現偏轉並降低圖像品質, 此外, 高真空還可以提高真空柱中的探測器對電子的收集效率.

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