伯東 Pfeiffer 分子泵組又獲 MBE 設備廠商訂單

伯東某真空系統集成商搭建分子束外延 MBE 設備, 經過我司推薦採購 Pfeiffer 渦輪分子泵組 HiCube 300 Pro.協助實現客戶的 MBE 系統用於最大單片 4"或 3X2"的襯底, 進行 III-V,II-VI 及氮化物, 氧化物等各類材料的外延生長.

此 MBE 系統主要功能
最大 4英寸或 3個2英寸襯底
雙區域液氮冷屏
垂直腔室
可擴展多個工藝及分析腔室, 可集成多種分析儀器, 如 XPS, STM 等
超高真空 UHV 緩衝室
真空進樣室
真空度可到 2×10-10 torr
pfeiffer 普发分子泵组 Hicube 300

Pfeiffer 渦輪分子泵組 HiCube 300 Pro, 前級泵配置多級羅茨泵 ACP 15, 抽速 m3/h, 分子泵配置 HiPace 300, 抽速 260 l/s, 泵組“隨插即用”, 清潔無油, 操作簡便, 泵組極限真空 < 1X10-8 hPa. 特別適合用於各類真空系統的搭建！

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